粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
Materials Science and Engineering of Powder Metallurgy
2015年
4期
623-630
,共8页
张明杰%陈敬超%彭平%于杰
張明傑%陳敬超%彭平%于傑
장명걸%진경초%팽평%우걸
烧结温度%升温速率%烧结时间%气氛压力%电阻率
燒結溫度%升溫速率%燒結時間%氣氛壓力%電阻率
소결온도%승온속솔%소결시간%기분압력%전조솔
以等离子电弧法制备的铟-锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)纳米粉末为原料,采用冷等静压-烧结工艺制备ITO靶材,用排水法和涡流导电仪分别对ITO靶材的致密度和电阻率进行测量,研究烧结温度、升温速率、烧结时间以及气氛压力对靶材致密度和电阻率的影响.结果表明,在烧结温度为1 550℃、升温速率为500℃/h、烧结时间8h、氧气气氛压力为0.02 MPa条件下制备的ITO靶材致密度和电阻率分别为99.54％和1.829×10-4Ω·cm,能够满足高端光伏、液晶显示屏(LCD)等领域对ITO靶材致密度和电阻率的要求.
以等離子電弧法製備的銦-錫氧化物(indium-tin oxide,ITO)納米粉末為原料,採用冷等靜壓-燒結工藝製備ITO靶材,用排水法和渦流導電儀分彆對ITO靶材的緻密度和電阻率進行測量,研究燒結溫度、升溫速率、燒結時間以及氣氛壓力對靶材緻密度和電阻率的影響.結果錶明,在燒結溫度為1 550℃、升溫速率為500℃/h、燒結時間8h、氧氣氣氛壓力為0.02 MPa條件下製備的ITO靶材緻密度和電阻率分彆為99.54％和1.829×10-4Ω·cm,能夠滿足高耑光伏、液晶顯示屏(LCD)等領域對ITO靶材緻密度和電阻率的要求.
이등리자전호법제비적인-석양화물(indium-tin oxide,ITO)납미분말위원료,채용랭등정압-소결공예제비ITO파재,용배수법화와류도전의분별대ITO파재적치밀도화전조솔진행측량,연구소결온도、승온속솔、소결시간이급기분압력대파재치밀도화전조솔적영향.결과표명,재소결온도위1 550℃、승온속솔위500℃/h、소결시간8h、양기기분압력위0.02 MPa조건하제비적ITO파재치밀도화전조솔분별위99.54％화1.829×10-4Ω·cm,능구만족고단광복、액정현시병(LCD)등영역대ITO파재치밀도화전조솔적요구.
