中国建材科技
中國建材科技
중국건재과기
China Building Materials Science & Technology
2015年
5期
43-45
,共3页
ITO薄膜%退火处理%光电性能
ITO薄膜%退火處理%光電性能
ITO박막%퇴화처리%광전성능
ITO film%annealing%electrical and optical property
退火处理是一种常用的后续性能改善的方法，本文主要通过在不同温度下对某工艺制备的ITO薄膜样品进行退火处理，研究这一方法对该ITO薄膜光电性能的影响。
退火處理是一種常用的後續性能改善的方法，本文主要通過在不同溫度下對某工藝製備的ITO薄膜樣品進行退火處理，研究這一方法對該ITO薄膜光電性能的影響。
퇴화처리시일충상용적후속성능개선적방법，본문주요통과재불동온도하대모공예제비적ITO박막양품진행퇴화처리，연구저일방법대해ITO박막광전성능적영향。
Annealing is a method commonly used to improve the performance,In this paper,by annealing one type of ITO film samples at different temperatures,research the influence on the electrical and optical properties of the ITO film.
