传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
Transducer and Microsystem Technologies
2015年
9期
94-96
,共3页
徐华英%徐德辉%熊斌%毕勤%王东平
徐華英%徐德輝%熊斌%畢勤%王東平
서화영%서덕휘%웅빈%필근%왕동평
磁传感器%微机电系统%电磁感应%推挽驱动
磁傳感器%微機電繫統%電磁感應%推輓驅動
자전감기%미궤전계통%전자감응%추만구동
magnetic sensor%MEMS%electromagnetic induction%push-pull driving
利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器.在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化.根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压.推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度.实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 mV/T,非线性度为-0.265％.由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.0019 mV.
利用MEMS工藝,設計併製作瞭一種梳齒推輓驅動的微型磁場傳感器.在器件工作時,磁傳感器的諧振振子工作在收縮或擴張的模態,進而引起諧振振子上的雙層鋁線圈包圍麵積髮生變化,即迴路線圈中的磁通量髮生變化.根據電磁感應原理,將會在線圈的兩耑產生正比于磁場彊度的感應電壓.推輓驅動結構設計增加瞭諧振器驅動力,提高瞭磁傳感器的靈敏度.實驗結果錶明:磁傳感器在大氣環境下的靈敏度為0.846 99 mV/T,非線性度為-0.265％.由于傳感器採用差分檢測電路,減小瞭磁傳感器的零偏電壓,零偏輸齣電壓僅為0.0019 mV.
이용MEMS공예,설계병제작료일충소치추만구동적미형자장전감기.재기건공작시,자전감기적해진진자공작재수축혹확장적모태,진이인기해진진자상적쌍층려선권포위면적발생변화,즉회로선권중적자통량발생변화.근거전자감응원리,장회재선권적량단산생정비우자장강도적감응전압.추만구동결구설계증가료해진기구동력,제고료자전감기적령민도.실험결과표명:자전감기재대기배경하적령민도위0.846 99 mV/T,비선성도위-0.265％.유우전감기채용차분검측전로,감소료자전감기적령편전압,령편수출전압부위0.0019 mV.
