机电技术
機電技術
궤전기술
Mechanical & Electrical Technology
2015年
5期
142-146
,共5页
王波%于复生%李欢欢%程启良
王波%于複生%李歡歡%程啟良
왕파%우복생%리환환%정계량
MEMS加速度传感器%微位移%误差分析%研究进展
MEMS加速度傳感器%微位移%誤差分析%研究進展
MEMS가속도전감기%미위이%오차분석%연구진전
MEMS加速度传感器在微位移测量中有着广泛的应用,文章介绍了目前世界上主要的MEMS加速度传感器研究和生产情况,并针对MEMS加速度传感器在微位移测量方面的应用进行了概述,对其应用领域、研究方法和得出的结论进行了分析与评述,提出了目前存在的问题,并给出了相关的建议,为MEMS加速度传感器的进一步研究和应用提供参考.
MEMS加速度傳感器在微位移測量中有著廣汎的應用,文章介紹瞭目前世界上主要的MEMS加速度傳感器研究和生產情況,併針對MEMS加速度傳感器在微位移測量方麵的應用進行瞭概述,對其應用領域、研究方法和得齣的結論進行瞭分析與評述,提齣瞭目前存在的問題,併給齣瞭相關的建議,為MEMS加速度傳感器的進一步研究和應用提供參攷.
MEMS가속도전감기재미위이측량중유착엄범적응용,문장개소료목전세계상주요적MEMS가속도전감기연구화생산정황,병침대MEMS가속도전감기재미위이측량방면적응용진행료개술,대기응용영역、연구방법화득출적결론진행료분석여평술,제출료목전존재적문제,병급출료상관적건의,위MEMS가속도전감기적진일보연구화응용제공삼고.
