电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
9期
1-4,34
,共5页
张建国%景涛%曾固%钱力%宋祖殷
張建國%景濤%曾固%錢力%宋祖慇
장건국%경도%증고%전력%송조은
钯铬合金%薄膜%氢气传感器
鈀鉻閤金%薄膜%氫氣傳感器
파락합금%박막%경기전감기
采用钯铬合金做为氢敏材料,设计制备了集成铂薄膜加热器和测温器的氢气传感器.对不同环境温度下温度补偿后氢气传感器的响应特性进行了测试,测试结果表明铂加热器和测温器可消除环境温度对氢气传感器的影响;并研究了不同补偿温度下氢气传感器的响应特性,结果表明,随着补偿温度的升高,传感器吸氢速率和脱氢速率增加.
採用鈀鉻閤金做為氫敏材料,設計製備瞭集成鉑薄膜加熱器和測溫器的氫氣傳感器.對不同環境溫度下溫度補償後氫氣傳感器的響應特性進行瞭測試,測試結果錶明鉑加熱器和測溫器可消除環境溫度對氫氣傳感器的影響;併研究瞭不同補償溫度下氫氣傳感器的響應特性,結果錶明,隨著補償溫度的升高,傳感器吸氫速率和脫氫速率增加.
채용파락합금주위경민재료,설계제비료집성박박막가열기화측온기적경기전감기.대불동배경온도하온도보상후경기전감기적향응특성진행료측시,측시결과표명박가열기화측온기가소제배경온도대경기전감기적영향;병연구료불동보상온도하경기전감기적향응특성,결과표명,수착보상온도적승고,전감기흡경속솔화탈경속솔증가.
