原子与分子物理学报
原子與分子物理學報
원자여분자물이학보
Journal of Atomic and Molecular Physics
2015年
5期
875-878
,共4页
刘新%单凡%陈仙%陈帛雄%任旭升%张爱民
劉新%單凡%陳仙%陳帛雄%任旭升%張愛民
류신%단범%진선%진백웅%임욱승%장애민
非晶SiO2 薄膜%氧双键缺陷%第一性原理%吸收光谱
非晶SiO2 薄膜%氧雙鍵缺陷%第一性原理%吸收光譜
비정SiO2 박막%양쌍건결함%제일성원리%흡수광보
Amorphous SiO2 thin films%Silanone groups%First principles%Absorption spectrum
利用第一性原理对离子溅射沉积的非晶SiO2薄膜微观结构进行了分析、研究,结果表明,氧双键缺陷( SGs)可以作为体缺陷稳定存在于非晶SiO2中,SGs缺陷导致非晶SiO2薄膜材料禁带中引入了新的电子态,减小了禁带宽度;同时采用时相关密度泛函理论( TDDFT)对其光学特性进行了研究,得到非晶SiO2薄膜介电常数与入射光子能量间的关系曲线,从介电常数的虚部发现SGs缺陷在3.6 eV处存在一个光学吸收峰.
利用第一性原理對離子濺射沉積的非晶SiO2薄膜微觀結構進行瞭分析、研究,結果錶明,氧雙鍵缺陷( SGs)可以作為體缺陷穩定存在于非晶SiO2中,SGs缺陷導緻非晶SiO2薄膜材料禁帶中引入瞭新的電子態,減小瞭禁帶寬度;同時採用時相關密度汎函理論( TDDFT)對其光學特性進行瞭研究,得到非晶SiO2薄膜介電常數與入射光子能量間的關繫麯線,從介電常數的虛部髮現SGs缺陷在3.6 eV處存在一箇光學吸收峰.
이용제일성원리대리자천사침적적비정SiO2박막미관결구진행료분석、연구,결과표명,양쌍건결함( SGs)가이작위체결함은정존재우비정SiO2중,SGs결함도치비정SiO2박막재료금대중인입료신적전자태,감소료금대관도;동시채용시상관밀도범함이론( TDDFT)대기광학특성진행료연구,득도비정SiO2박막개전상수여입사광자능량간적관계곡선,종개전상수적허부발현SGs결함재3.6 eV처존재일개광학흡수봉.
This paper reports the studies of the electronic and optical properties of silanone groups( SGs) in a-morphous SiO2 deposited by ion beam sputtering by the first principle method. The results show that, SGs can exists in amorphous SiO2 as bulk defects, SGs defects introduced new electronic states in the band gap of amor-phous SiO2 , they reduce the band gap;we use the time dependent density functional theory ( TDDFT) to study their optical properties, and get the curve of relationship between the dielectric constant and the incident photon energy, there is an absorption peak at 3. 6 eV from the imaginary part of the dielectric constant of SGs defects.