电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
Electroplating & Finishing
2015年
15期
851-855
,共5页
张青%陈传胜%宋建强%郑晓华
張青%陳傳勝%宋建彊%鄭曉華
장청%진전성%송건강%정효화
氮化碳涂层%脉冲激光沉积%辉光放电%氮含量%摩擦因数%磨损率
氮化碳塗層%脈遲激光沉積%輝光放電%氮含量%摩抆因數%磨損率
담화탄도층%맥충격광침적%휘광방전%담함량%마찰인수%마손솔
carbon nitride coating%pulsed laser deposition%glow discharge%nitrogen content%friction coefficient%wear rate
采用直流辉光放电辅助PLD(脉冲激光沉积)法制备了CNx涂层,通过正交试验研究了气压、激光通量、放电功率密度和靶基距等工艺参数对CNx涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响,利用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)和球-盘式微型摩擦仪对涂层的表面形貌、化学成分以及摩擦学特性进行了表征.结果表明,辉光放电辅助PLD制备的CNx涂层比传统PLD涂层光滑,且工艺参数对涂层表面形貌的影响较小.激光通量对涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响较为显著,放电功率密度的影响最小.涂层的耐磨性随涂层氮含量的升高而降低.当气压为12 Pa、激光通量为6.7 J/cm2、放电功率密度为30 mW/cm2和靶基距为37 mm时,涂层中氮原子分数为32.2％,沉积速率为0.83 μm/h,摩擦因数为0.122,磨损率为1.13×10-13 m3/(N.m).
採用直流輝光放電輔助PLD(脈遲激光沉積)法製備瞭CNx塗層,通過正交試驗研究瞭氣壓、激光通量、放電功率密度和靶基距等工藝參數對CNx塗層的氮含量、摩抆因數和磨損率的影響,利用掃描電鏡(SEM)、X射線光電子能譜儀(XPS)和毬-盤式微型摩抆儀對塗層的錶麵形貌、化學成分以及摩抆學特性進行瞭錶徵.結果錶明,輝光放電輔助PLD製備的CNx塗層比傳統PLD塗層光滑,且工藝參數對塗層錶麵形貌的影響較小.激光通量對塗層的氮含量、摩抆因數和磨損率的影響較為顯著,放電功率密度的影響最小.塗層的耐磨性隨塗層氮含量的升高而降低.噹氣壓為12 Pa、激光通量為6.7 J/cm2、放電功率密度為30 mW/cm2和靶基距為37 mm時,塗層中氮原子分數為32.2％,沉積速率為0.83 μm/h,摩抆因數為0.122,磨損率為1.13×10-13 m3/(N.m).
채용직류휘광방전보조PLD(맥충격광침적)법제비료CNx도층,통과정교시험연구료기압、격광통량、방전공솔밀도화파기거등공예삼수대CNx도층적담함량、마찰인수화마손솔적영향,이용소묘전경(SEM)、X사선광전자능보의(XPS)화구-반식미형마찰의대도층적표면형모、화학성분이급마찰학특성진행료표정.결과표명,휘광방전보조PLD제비적CNx도층비전통PLD도층광활,차공예삼수대도층표면형모적영향교소.격광통량대도층적담함량、마찰인수화마손솔적영향교위현저,방전공솔밀도적영향최소.도층적내마성수도층담함량적승고이강저.당기압위12 Pa、격광통량위6.7 J/cm2、방전공솔밀도위30 mW/cm2화파기거위37 mm시,도층중담원자분수위32.2％,침적속솔위0.83 μm/h,마찰인수위0.122,마손솔위1.13×10-13 m3/(N.m).
