压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
Piezoelectrics & Acoustooptics
2015年
5期
748-751
,共4页
章安良%张小权%胡文艳%付相庭%查燕
章安良%張小權%鬍文豔%付相庭%查燕
장안량%장소권%호문염%부상정%사연
压电基片%薄膜%声表面波(SAW)%衰减%微流器件
壓電基片%薄膜%聲錶麵波(SAW)%衰減%微流器件
압전기편%박막%성표면파(SAW)%쇠감%미류기건
piezoelectric substrate%film%surface acoustic wave%attenuation%microfluidic device
研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响.在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量.实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加.当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3％和36.0％.
研究瞭壓電基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜對聲錶麵波(SAW)傳播特性影響.在128°YX-LiNbO3壓電基片上光刻扠指換能器(IDT),其聲傳播路徑上塗覆PDMS薄膜,IDT激髮的SAW加熱PDMS薄膜上石蠟油微流體,併測量不同PDMS薄膜厚度時石蠟油微流體的溫度,進而計算薄膜對SAW的衰減量.實驗結果和理論計算錶明,壓電基片上塗覆PDMS薄膜將衰減輻射入石蠟油微流體的聲錶麵波彊度,衰減幅度隨基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加.噹壓電基片上塗覆的PDMS薄膜厚度為100μm和150μm時,薄膜對SAW衰減量分彆為23.3％和36.0％.
연구료압전기편상취이갑기규양완(PDMS)박막대성표면파(SAW)전파특성영향.재128°YX-LiNbO3압전기편상광각차지환능기(IDT),기성전파로경상도복PDMS박막,IDT격발적SAW가열PDMS박막상석사유미류체,병측량불동PDMS박막후도시석사유미류체적온도,진이계산박막대SAW적쇠감량.실험결과화이론계산표명,압전기편상도복PDMS박막장쇠감복사입석사유미류체적성표면파강도,쇠감폭도수기편상PDMS박막후도적증가이증가.당압전기편상도복적PDMS박막후도위100μm화150μm시,박막대SAW쇠감량분별위23.3％화36.0％.
