压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
Piezoelectrics & Acoustooptics
2015年
5期
746-747,751
,共3页
董加和%陈运祥%赵雪梅%吕翼%朱勇%张显洪%张永川%李浩%鄢秋娟
董加和%陳運祥%趙雪梅%呂翼%硃勇%張顯洪%張永川%李浩%鄢鞦娟
동가화%진운상%조설매%려익%주용%장현홍%장영천%리호%언추연
声表面波%频散特性%机电耦合系数%ZnO薄膜%蓝宝石%相速度
聲錶麵波%頻散特性%機電耦閤繫數%ZnO薄膜%藍寶石%相速度
성표면파%빈산특성%궤전우합계수%ZnO박막%람보석%상속도
SAW%dispersion properties%electromechanical coupling coefficient%ZnO thin film%sapphire%phase velocity
从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线.计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO(c面)/蓝宝石(c面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705％,理论声速为4 982 m/s;在hA=0.3时,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4.34％,理论声速为5 509 m/s.结果表明,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大,适于研制高频低损耗声表面波滤波器.
從理論上計算齣ZnO/藍寶石結構聲錶麵波相速度和機電耦閤繫數k2色散麯線.計算顯示,在ZnO膜厚和聲錶麵波器件波長之比h/λ=0.48時,IDT/ZnO(c麵)/藍寶石(c麵)結構西沙瓦波1次模式的k2最大值為2.705％,理論聲速為4 982 m/s;在hA=0.3時,IDT/ZnO(a麵)/藍寶石(r麵)結構西沙瓦波1次模式的k2最大值為4.34％,理論聲速為5 509 m/s.結果錶明,IDT/ZnO(a麵)/藍寶石(r麵)結構西沙瓦波1次模式的k2和聲速較大,適于研製高頻低損耗聲錶麵波濾波器.
종이론상계산출ZnO/람보석결구성표면파상속도화궤전우합계수k2색산곡선.계산현시,재ZnO막후화성표면파기건파장지비h/λ=0.48시,IDT/ZnO(c면)/람보석(c면)결구서사와파1차모식적k2최대치위2.705％,이론성속위4 982 m/s;재hA=0.3시,IDT/ZnO(a면)/람보석(r면)결구서사와파1차모식적k2최대치위4.34％,이론성속위5 509 m/s.결과표명,IDT/ZnO(a면)/람보석(r면)결구서사와파1차모식적k2화성속교대,괄우연제고빈저손모성표면파려파기.
