压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
Piezoelectrics & Acoustooptics
2015年
5期
896-898
,共3页
李夏喜%郭霄鹏%白永强%刘晓彬%邢琳琳%汪彤
李夏喜%郭霄鵬%白永彊%劉曉彬%邢琳琳%汪彤
리하희%곽소붕%백영강%류효빈%형림림%왕동
声表面波(SAW)%石英切向%应变传感器%微扰理论%应变灵敏度
聲錶麵波(SAW)%石英切嚮%應變傳感器%微擾理論%應變靈敏度
성표면파(SAW)%석영절향%응변전감기%미우이론%응변령민도
surface acoustic wave%cuts of quartz%strain sensor%perturbation theory%strain sensitivity
给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验.实验测得应变灵敏度为0.382 kHz/με,与理论计算结果(0.590 kHz/με)基本一致,验证了理论分析方法的正确性.
給齣瞭一種聲錶麵波(SAW)應變傳感器石英基片各切嚮靈敏度的分析方法,以微擾理論為基礎構建有限元模型計算應變量,併以此計算齣SAW頻率相對偏移量,分析計算不同切嚮下石英基片的應變靈敏度,併選取瞭應變靈敏度較高且溫度靈敏度較低的ST-X切石英進行實驗.實驗測得應變靈敏度為0.382 kHz/με,與理論計算結果(0.590 kHz/με)基本一緻,驗證瞭理論分析方法的正確性.
급출료일충성표면파(SAW)응변전감기석영기편각절향령민도적분석방법,이미우이론위기출구건유한원모형계산응변량,병이차계산출SAW빈솔상대편이량,분석계산불동절향하석영기편적응변령민도,병선취료응변령민도교고차온도령민도교저적ST-X절석영진행실험.실험측득응변령민도위0.382 kHz/με,여이론계산결과(0.590 kHz/με)기본일치,험증료이론분석방법적정학성.
