传感器世界
傳感器世界
전감기세계
Sensor World
2015年
10期
21-25
,共5页
孙冰%田丰%汪鹏%高金雍
孫冰%田豐%汪鵬%高金雍
손빙%전봉%왕붕%고금옹
丙酮传感器%溅射镀膜%掺TiO2的SnO2薄膜
丙酮傳感器%濺射鍍膜%摻TiO2的SnO2薄膜
병동전감기%천사도막%참TiO2적SnO2박막
简单介绍了掺TiO2的SnO2薄膜丙酮气敏元件的制作,重点分析不同的掺杂溅射镀膜时间、不同加热电压对灵敏度的影响.对不同有机蒸气进行选择性测试,发现掺TiO2的SnO2薄膜气体传感器对丙酮有很高的灵敏度,而且输出信号与丙酮气体浓度成正比,浓度低至100ppm也可检测试出来.测定了元件的工作温度与加热电压的关系,发现加热电压为6～7V,相当于元件的工作温度为250～300℃时,对不同气体的灵敏度都很高.
簡單介紹瞭摻TiO2的SnO2薄膜丙酮氣敏元件的製作,重點分析不同的摻雜濺射鍍膜時間、不同加熱電壓對靈敏度的影響.對不同有機蒸氣進行選擇性測試,髮現摻TiO2的SnO2薄膜氣體傳感器對丙酮有很高的靈敏度,而且輸齣信號與丙酮氣體濃度成正比,濃度低至100ppm也可檢測試齣來.測定瞭元件的工作溫度與加熱電壓的關繫,髮現加熱電壓為6～7V,相噹于元件的工作溫度為250～300℃時,對不同氣體的靈敏度都很高.
간단개소료참TiO2적SnO2박막병동기민원건적제작,중점분석불동적참잡천사도막시간、불동가열전압대령민도적영향.대불동유궤증기진행선택성측시,발현참TiO2적SnO2박막기체전감기대병동유흔고적령민도,이차수출신호여병동기체농도성정비,농도저지100ppm야가검측시출래.측정료원건적공작온도여가열전압적관계,발현가열전압위6～7V,상당우원건적공작온도위250～300℃시,대불동기체적령민도도흔고.
