强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
High Power Laser and Particle Beams
2015年
9期
44-48
,共5页
刘盛刚%陶天炯%马鹤立%翁继东%王翔%李泽仁
劉盛剛%陶天炯%馬鶴立%翁繼東%王翔%李澤仁
류성강%도천형%마학립%옹계동%왕상%리택인
台阶%高度测量%频域干涉%量块
檯階%高度測量%頻域榦涉%量塊
태계%고도측량%빈역간섭%량괴
step%height measurements%frequency domain interferometry%gauge block
基于白光频域干涉的基本原理,提出了一种可实现高分辨率和大台阶高度测量的方法,利用该方法进行台阶高度测量时,其测量范围取决于所用干涉光源的中心波长和光谱仪的分辨率,可达mm量级.在原理验证性实验中,利用该方法已经实现了最大高度为298.57 μm的台阶高度测量,多次重复测量的标准偏差不超过0.03 μm,最大均方根误差为0.94 μm,实验测量结果与台阶高度真实值具有很好的一致性.
基于白光頻域榦涉的基本原理,提齣瞭一種可實現高分辨率和大檯階高度測量的方法,利用該方法進行檯階高度測量時,其測量範圍取決于所用榦涉光源的中心波長和光譜儀的分辨率,可達mm量級.在原理驗證性實驗中,利用該方法已經實現瞭最大高度為298.57 μm的檯階高度測量,多次重複測量的標準偏差不超過0.03 μm,最大均方根誤差為0.94 μm,實驗測量結果與檯階高度真實值具有很好的一緻性.
기우백광빈역간섭적기본원리,제출료일충가실현고분변솔화대태계고도측량적방법,이용해방법진행태계고도측량시,기측량범위취결우소용간섭광원적중심파장화광보의적분변솔,가체mm량급.재원리험증성실험중,이용해방법이경실현료최대고도위298.57 μm적태계고도측량,다차중복측량적표준편차불초과0.03 μm,최대균방근오차위0.94 μm,실험측량결과여태계고도진실치구유흔호적일치성.
