振动、测试与诊断
振動、測試與診斷
진동、측시여진단
Journal of Vibration，Measurement & Diagnosis
2015年
5期
932-937
,共6页
陈立国%袁飞%陈涛%孙立宁
陳立國%袁飛%陳濤%孫立寧
진입국%원비%진도%손립저
单一敏感质量%三轴加速度计%微机电系统%全差分电容检测
單一敏感質量%三軸加速度計%微機電繫統%全差分電容檢測
단일민감질량%삼축가속도계%미궤전계통%전차분전용검측
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计.该器件采用全差分电容的检测方法 ,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题 ,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸 ,降低了成本.器件由外延多晶硅工艺实现了18 μm的厚度制作 ,降低了热机械噪声 ,增大了检测电容 ,提高了灵敏度、分辨率和可靠性.ANSYS仿真结果表明 ,器件在3个轴向的灵敏度一致性好 ,抗干扰 ,测试结果和理论分析相符.该加速度计结构工艺简单 ,在消费电子领域有较好的应用前景.
設計瞭一種單一敏感質量的三軸電容加速度計.該器件採用全差分電容的檢測方法 ,滿足瞭靈敏度的設計要求併解決瞭三軸的交扠耦閤問題 ,其獨特的單一敏感質量結構減小瞭器件的整體呎吋 ,降低瞭成本.器件由外延多晶硅工藝實現瞭18 μm的厚度製作 ,降低瞭熱機械譟聲 ,增大瞭檢測電容 ,提高瞭靈敏度、分辨率和可靠性.ANSYS倣真結果錶明 ,器件在3箇軸嚮的靈敏度一緻性好 ,抗榦擾 ,測試結果和理論分析相符.該加速度計結構工藝簡單 ,在消費電子領域有較好的應用前景.
설계료일충단일민감질량적삼축전용가속도계.해기건채용전차분전용적검측방법 ,만족료령민도적설계요구병해결료삼축적교차우합문제 ,기독특적단일민감질량결구감소료기건적정체척촌 ,강저료성본.기건유외연다정규공예실현료18 μm적후도제작 ,강저료열궤계조성 ,증대료검측전용 ,제고료령민도、분변솔화가고성.ANSYS방진결과표명 ,기건재3개축향적령민도일치성호 ,항간우 ,측시결과화이론분석상부.해가속도계결구공예간단 ,재소비전자영역유교호적응용전경.
