信息记录材料
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신식기록재료
Information Recording Materials
2015年
5期
42-49
,共8页
纳米压印%紫外光刻%光刻胶
納米壓印%紫外光刻%光刻膠
납미압인%자외광각%광각효
网络信息时代,各种电子设备出现在我们的生活当中,随着科学技术和工艺的不断进步,电子设备变得越来越智能化和微型化,在满足多功能的同时也要满足便携性.紫外光刻和纳米压印技术作为生产微型电路的两大主要方式,具有高分辨率、低成本和高效率等优点,受到大家的高度关注.而这两大技术中的一个关键组成部分就是光刻胶(抗蚀剂),本文将介绍光刻胶的基本性能要求、最新应用领域、面临的问题及解决方法.
網絡信息時代,各種電子設備齣現在我們的生活噹中,隨著科學技術和工藝的不斷進步,電子設備變得越來越智能化和微型化,在滿足多功能的同時也要滿足便攜性.紫外光刻和納米壓印技術作為生產微型電路的兩大主要方式,具有高分辨率、低成本和高效率等優點,受到大傢的高度關註.而這兩大技術中的一箇關鍵組成部分就是光刻膠(抗蝕劑),本文將介紹光刻膠的基本性能要求、最新應用領域、麵臨的問題及解決方法.
망락신식시대,각충전자설비출현재아문적생활당중,수착과학기술화공예적불단진보,전자설비변득월래월지능화화미형화,재만족다공능적동시야요만족편휴성.자외광각화납미압인기술작위생산미형전로적량대주요방식,구유고분변솔、저성본화고효솔등우점,수도대가적고도관주.이저량대기술중적일개관건조성부분취시광각효(항식제),본문장개소광각효적기본성능요구、최신응용영역、면림적문제급해결방법.