宁波大学学报（理工版）
寧波大學學報（理工版）
저파대학학보（리공판）
Journal of Ningbo University (Natural Science & Engineering Edition)
2015年
4期
80-83
,共4页
王琴%张科%胡子阳%诸跃进
王琴%張科%鬍子暘%諸躍進
왕금%장과%호자양%제약진
扫描电镜%形貌%铝掺杂氧化锌薄膜
掃描電鏡%形貌%鋁摻雜氧化鋅薄膜
소묘전경%형모%려참잡양화자박막
scanning electron microscope%morphology%aluminum-doped zinc oxide thin film
利用日立 SU70场发射扫描电镜对铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜进行形貌观察。针对AZO 薄膜特点,使用多种测试条件探讨了不同测试条件对薄膜形貌的影响。通过测试结果对比,获得了测定薄膜形貌的最佳条件。结果显示：加速电压为5 kV,工作距离为10 mm,探测器为混合探测器(Mix),电子强度为 high 模式时,得到的扫描电镜图片最佳。
利用日立 SU70場髮射掃描電鏡對鋁摻雜氧化鋅(AZO)透明導電薄膜進行形貌觀察。針對AZO 薄膜特點,使用多種測試條件探討瞭不同測試條件對薄膜形貌的影響。通過測試結果對比,穫得瞭測定薄膜形貌的最佳條件。結果顯示：加速電壓為5 kV,工作距離為10 mm,探測器為混閤探測器(Mix),電子彊度為 high 模式時,得到的掃描電鏡圖片最佳。
이용일립 SU70장발사소묘전경대려참잡양화자(AZO)투명도전박막진행형모관찰。침대AZO 박막특점,사용다충측시조건탐토료불동측시조건대박막형모적영향。통과측시결과대비,획득료측정박막형모적최가조건。결과현시：가속전압위5 kV,공작거리위10 mm,탐측기위혼합탐측기(Mix),전자강도위 high 모식시,득도적소묘전경도편최가。
In this paper, the morphology of transparent conductive aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin film is observed using Hitach SU70 Scanning Electron Microscope(SEM). Based upon the characteristics of AZO thin film, the various testing conditions are investigated and the influence of a variety of testing conditions on the morphology of the film is discussed. The results indicate that the accelerating voltage is 5 kV, the work distance is 10mm, the detector is Mix-detector and the electronic strength is set at high mode. Satisfying all the conditions stated afore, the best SEM images will be obtained.
