电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
Electroplating & Finishing
2015年
18期
1062-1067
,共6页
辛欣%苏永要%王愉%喻燕%冷永祥
辛訢%囌永要%王愉%喻燕%冷永祥
신흔%소영요%왕유%유연%랭영상
钛硅碳氮%钛铬硅碳氮%铬硅碳氮%纳米复合涂层%等离子体增强磁控溅射%高温退火%抗氧化性
鈦硅碳氮%鈦鉻硅碳氮%鉻硅碳氮%納米複閤塗層%等離子體增彊磁控濺射%高溫退火%抗氧化性
태규탄담%태락규탄담%락규탄담%납미복합도층%등리자체증강자공천사%고온퇴화%항양화성
titanium-silicon-carbon-nitrogen%titanium-chromium-silicon-carbon-nitrogen%chromium-silicon-carbon-nitrogen%nanocomposite coating%plasma-enhanced magnetron sputtering%high-temperature annealing%oxidation resistance
用等离子体增强磁控溅射(PEMS)方法制备了TiSiCN、TiCrSiCN和CrSiCN涂层,并在空气中进行700℃退火处理.利用扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪表征了退火处理前后涂层的断面形貌、成分和微结构.研究了退火处理对3种涂层的硬度、韧性和膜基结合性能的影响以及它们的高温抗氧化性能.结果表明:退火处理后,TiSiCN涂层表面形成了一层均匀且较厚(1.50 μm)的富氧层;CrSiCN涂层的氧化层不均匀且富氧层较薄(0.50μm);TiCrSiCN涂层较致密,未检测到氧化物存在.3种涂层的韧性和硬度在退火后都出现不同程度的降低,硬度分别降低了20GPa(TiSiCN涂层)、9 GPa (CrSiCN涂层)和5 GPa (TiCrSiCN涂层).退火后,TiSiCN涂层与基体的结合性能有较明显的提高,TiCrSiCN涂层的膜基结合性能变化不大,CrSiCN涂层的结合性能则出现一定减弱.TiSiCN和CrSiCN涂层的脆性氧化层易产生分层和剥离,而TiCrSiCN涂层表现出最佳的高温抗氧化性能.
用等離子體增彊磁控濺射(PEMS)方法製備瞭TiSiCN、TiCrSiCN和CrSiCN塗層,併在空氣中進行700℃退火處理.利用掃描電子顯微鏡、能譜儀和X射線衍射儀錶徵瞭退火處理前後塗層的斷麵形貌、成分和微結構.研究瞭退火處理對3種塗層的硬度、韌性和膜基結閤性能的影響以及它們的高溫抗氧化性能.結果錶明:退火處理後,TiSiCN塗層錶麵形成瞭一層均勻且較厚(1.50 μm)的富氧層;CrSiCN塗層的氧化層不均勻且富氧層較薄(0.50μm);TiCrSiCN塗層較緻密,未檢測到氧化物存在.3種塗層的韌性和硬度在退火後都齣現不同程度的降低,硬度分彆降低瞭20GPa(TiSiCN塗層)、9 GPa (CrSiCN塗層)和5 GPa (TiCrSiCN塗層).退火後,TiSiCN塗層與基體的結閤性能有較明顯的提高,TiCrSiCN塗層的膜基結閤性能變化不大,CrSiCN塗層的結閤性能則齣現一定減弱.TiSiCN和CrSiCN塗層的脆性氧化層易產生分層和剝離,而TiCrSiCN塗層錶現齣最佳的高溫抗氧化性能.
용등리자체증강자공천사(PEMS)방법제비료TiSiCN、TiCrSiCN화CrSiCN도층,병재공기중진행700℃퇴화처리.이용소묘전자현미경、능보의화X사선연사의표정료퇴화처리전후도층적단면형모、성분화미결구.연구료퇴화처리대3충도층적경도、인성화막기결합성능적영향이급타문적고온항양화성능.결과표명:퇴화처리후,TiSiCN도층표면형성료일층균균차교후(1.50 μm)적부양층;CrSiCN도층적양화층불균균차부양층교박(0.50μm);TiCrSiCN도층교치밀,미검측도양화물존재.3충도층적인성화경도재퇴화후도출현불동정도적강저,경도분별강저료20GPa(TiSiCN도층)、9 GPa (CrSiCN도층)화5 GPa (TiCrSiCN도층).퇴화후,TiSiCN도층여기체적결합성능유교명현적제고,TiCrSiCN도층적막기결합성능변화불대,CrSiCN도층적결합성능칙출현일정감약.TiSiCN화CrSiCN도층적취성양화층역산생분층화박리,이TiCrSiCN도층표현출최가적고온항양화성능.
