红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
Infrared and Laser Engineering
2015年
9期
2702-2709
,共8页
光学检测%非球面%部分补偿%子孔径拼接干涉计测%数字样板法
光學檢測%非毬麵%部分補償%子孔徑拼接榦涉計測%數字樣闆法
광학검측%비구면%부분보상%자공경병접간섭계측%수자양판법
optical testing%aspheric surface%partial compensation%SSI%digital plane
为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法.对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划.结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183λ和0.018λ.
為瞭無需定製補償透鏡或者計算全息等就能實現對非毬麵光學元件的檢測,提齣瞭非零位補償測試非毬麵的方法.對非零位補償檢驗非毬麵中的部分補償法、數字樣闆法和子孔徑拼接法的基本原理和基礎理論分彆進行瞭分析和研究,建立瞭閤理的數學模型,併對其具體的實現步驟和測試流程進行瞭分析和規劃.結閤工程實例,分彆利用數字樣闆法和子孔徑拼接法對一口徑為350 mm的淺度非毬麵進行瞭麵形檢測,兩種方法麵形的PV值和RMS值的偏差分彆為0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),併設計和組建瞭部分補償檢驗裝置對一高精度凸雙麯非毬麵反射鏡進行瞭測量,其麵形的PV值和RMS值分彆為0.183λ和0.018λ.
위료무수정제보상투경혹자계산전식등취능실현대비구면광학원건적검측,제출료비령위보상측시비구면적방법.대비령위보상검험비구면중적부분보상법、수자양판법화자공경병접법적기본원리화기출이론분별진행료분석화연구,건립료합리적수학모형,병대기구체적실현보취화측시류정진행료분석화규화.결합공정실례,분별이용수자양판법화자공경병접법대일구경위350 mm적천도비구면진행료면형검측,량충방법면형적PV치화RMS치적편차분별위0.015λ화0.002λ(λ=632.8 nm),병설계화조건료부분보상검험장치대일고정도철쌍곡비구면반사경진행료측량,기면형적PV치화RMS치분별위0.183λ화0.018λ.
