计量学报
計量學報
계량학보
Acta Metrologica Sinica
2015年
5期
460-463
,共4页
计量学%柱面面形%干涉%柱面波转换器%计算全息片%调整误差
計量學%柱麵麵形%榦涉%柱麵波轉換器%計算全息片%調整誤差
계량학%주면면형%간섭%주면파전환기%계산전식편%조정오차
metrology%cylindrical surface%interferometry%cylindrical wave converter%CGH%adjustment errors
介绍了一种柱面面形干涉测量方法.该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量.为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整误差引起的失调像差,并给出了失调像差的分离方法.最后,以玻璃圆柱体为被测样本,对单孔径面形的重复性进行验证,20次测量结果峰谷值(PV)标准差为20.2 nm,为PV平均值的0.55％.
介紹瞭一種柱麵麵形榦涉測量方法.該方法選用計算全息片作為柱麵波轉換器,能夠將平麵榦涉儀齣射的平麵波轉換成理想柱麵波前,依此為基礎,建立瞭柱麵榦涉測量繫統,能夠實現柱麵的榦涉測量.為瞭穫得柱麵的真實麵形誤差,分析瞭調整誤差引起的失調像差,併給齣瞭失調像差的分離方法.最後,以玻璃圓柱體為被測樣本,對單孔徑麵形的重複性進行驗證,20次測量結果峰穀值(PV)標準差為20.2 nm,為PV平均值的0.55％.
개소료일충주면면형간섭측량방법.해방법선용계산전식편작위주면파전환기,능구장평면간섭의출사적평면파전환성이상주면파전,의차위기출,건립료주면간섭측량계통,능구실현주면적간섭측량.위료획득주면적진실면형오차,분석료조정오차인기적실조상차,병급출료실조상차적분리방법.최후,이파리원주체위피측양본,대단공경면형적중복성진행험증,20차측량결과봉곡치(PV)표준차위20.2 nm,위PV평균치적0.55％.
