计量学报
計量學報
계량학보
Acta Metrologica Sinica
2015年
5期
455-459
,共5页
冯建%李瑞君%何亚雄%范光照
馮建%李瑞君%何亞雄%範光照
풍건%리서군%하아웅%범광조
计量学%微纳米三坐标测量机%恒温箱%半导体制冷片%真空绝热板%自然对流
計量學%微納米三坐標測量機%恆溫箱%半導體製冷片%真空絕熱闆%自然對流
계량학%미납미삼좌표측량궤%항온상%반도체제랭편%진공절열판%자연대류
metrology%micro-nanometric CMM%constant-temperature chamber%thermoelectric cooler%vacuum insulation panel%natural convection principle
针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题,研制了一套自然对流式高精度恒温箱.用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体.以仪器测量点温度作为温度控制反馈值,均匀位于恒温箱顶部的9个半导体制冷片对其周围空气进行制冷,箱内冷空气均匀向下流动,与向上流动的热空气进行热交换.采用LabVIEW与MATLAB混合编写高精度温控程序.实验结果表明:设定值为20℃时的稳态误差为0.003 2℃,稳态时温度波动小于0.03℃,优于一级恒温室.新型恒温箱具有成本低、能耗小和无振动干扰等优点.
針對恆溫室控製精度低和分離式恆溫箱因振動而無法滿足微納米三坐標測量機需要的問題,研製瞭一套自然對流式高精度恆溫箱.用定製呎吋的中空亞剋力闆和輕便型超低導熱繫數真空絕熱闆製成絕熱箱體.以儀器測量點溫度作為溫度控製反饋值,均勻位于恆溫箱頂部的9箇半導體製冷片對其週圍空氣進行製冷,箱內冷空氣均勻嚮下流動,與嚮上流動的熱空氣進行熱交換.採用LabVIEW與MATLAB混閤編寫高精度溫控程序.實驗結果錶明:設定值為20℃時的穩態誤差為0.003 2℃,穩態時溫度波動小于0.03℃,優于一級恆溫室.新型恆溫箱具有成本低、能耗小和無振動榦擾等優點.
침대항온실공제정도저화분리식항온상인진동이무법만족미납미삼좌표측량궤수요적문제,연제료일투자연대류식고정도항온상.용정제척촌적중공아극력판화경편형초저도열계수진공절열판제성절열상체.이의기측량점온도작위온도공제반궤치,균균위우항온상정부적9개반도체제랭편대기주위공기진행제랭,상내랭공기균균향하류동,여향상류동적열공기진행열교환.채용LabVIEW여MATLAB혼합편사고정도온공정서.실험결과표명:설정치위20℃시적은태오차위0.003 2℃,은태시온도파동소우0.03℃,우우일급항온실.신형항온상구유성본저、능모소화무진동간우등우점.
