电子科技
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전자과기
Electronic Science and Technology
2015年
11期
61-64
,共4页
姚红兵%李亚茹%高原%于文龙
姚紅兵%李亞茹%高原%于文龍
요홍병%리아여%고원%우문룡
激光技术%打孔%旋转多棱镜%聚焦透镜%光束整形
激光技術%打孔%鏇轉多稜鏡%聚焦透鏡%光束整形
격광기술%타공%선전다릉경%취초투경%광속정형
为了提高激光打孔生产质量和降低生产成本,提出了一种多棱镜旋转扫描非球面透镜聚焦在线打孔方案.系统将CO2激光器发出的连续光束经光调制器入射在多棱镜的其中一个表面上,光束经过反射依次扫入聚焦透镜组中.由于轴外像差和扫描速度失真会引起聚焦光斑的线性畸变,从而导致打孔形状的变化,通过选取非球面透镜对光束整形,在聚焦同时调整聚焦光斑的形状以控制打孔的形状.结果表明,在扫描系统中线性误差可控制在0.5％内,打孔大小形状满足生产要求,与传统激光打孔方式相比,提高了打孔的质量与效率.
為瞭提高激光打孔生產質量和降低生產成本,提齣瞭一種多稜鏡鏇轉掃描非毬麵透鏡聚焦在線打孔方案.繫統將CO2激光器髮齣的連續光束經光調製器入射在多稜鏡的其中一箇錶麵上,光束經過反射依次掃入聚焦透鏡組中.由于軸外像差和掃描速度失真會引起聚焦光斑的線性畸變,從而導緻打孔形狀的變化,通過選取非毬麵透鏡對光束整形,在聚焦同時調整聚焦光斑的形狀以控製打孔的形狀.結果錶明,在掃描繫統中線性誤差可控製在0.5％內,打孔大小形狀滿足生產要求,與傳統激光打孔方式相比,提高瞭打孔的質量與效率.
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