CAJ | 학술논문

随着电子行业、电力系统和制造业的快速发展，SF6气体需求和产量与日俱增，在生产、运输、使用和检测时产生的泄漏和排放的总量也越来越大，其温室效应越来越明显。对SF6气体浓度进行精确地检测是控制其排放的先决条件。由于SF6气体的化学特性稳定，难以用常规的检测方法对低浓度的SF6进行检测，急需一种能快速、高灵敏度的检测方法。通过采用激光光源，利用扩束镜对激光束进行扩束，使光束发生多次反射，大大增加了被测气体与激光的接触和吸收，提升了检测的灵敏度。
수착전자행업、전력계통화제조업적쾌속발전，SF6기체수구화산량여일구증，재생산、운수、사용화검측시산생적설루화배방적총량야월래월대，기온실효응월래월명현。대SF6기체농도진행정학지검측시공제기배방적선결조건。유우SF6기체적화학특성은정，난이용상규적검측방법대저농도적SF6진행검측，급수일충능쾌속、고령민도적검측방법。통과채용격광광원，이용확속경대격광속진행확속，사광속발생다차반사，대대증가료피측기체여격광적접촉화흡수，제승료검측적령민도。