山东科技大学学报（自然科学版）
山東科技大學學報（自然科學版）
산동과기대학학보（자연과학판）
Journal of Shandong University of Science and Technology(Natural Science)
2015年
5期
1-5,13
,共6页
王清%张睿%张金涛%郑旭%马立俊
王清%張睿%張金濤%鄭旭%馬立俊
왕청%장예%장금도%정욱%마립준
聚合物%热压印%脱模%应力%脱模接触力%有限元法
聚閤物%熱壓印%脫模%應力%脫模接觸力%有限元法
취합물%열압인%탈모%응력%탈모접촉력%유한원법
热压印光刻技术中,聚合物成型体在脱模阶段的变形破损关系到压印质量的高低.为了提高热压印质量,研究脱模过程中模板和聚合物成型体之间的接触力变化至关重要.采用理论分析、模型试验和有限元法数值模拟分析热压印脱模中的接触脱离过程,得到不同脱模位移的等效应力云图和脱模接触力变化曲线.结果显示:脱模过程中聚合物微结构的根部和顶部边缘有应力集中和变形现象,通过计算聚合物根部节点和顶部节点的接触力大小,得出接触力峰值是聚合物出现应力集中和变形的原因.实际脱模操作时应加强对聚合物成型体根部和项部边缘的保护,通过增涂低表面能的抗粘剂降低模板和聚合物成型体间的脱模接触力,达到减少压印缺陷、提高压印质量的目的.
熱壓印光刻技術中,聚閤物成型體在脫模階段的變形破損關繫到壓印質量的高低.為瞭提高熱壓印質量,研究脫模過程中模闆和聚閤物成型體之間的接觸力變化至關重要.採用理論分析、模型試驗和有限元法數值模擬分析熱壓印脫模中的接觸脫離過程,得到不同脫模位移的等效應力雲圖和脫模接觸力變化麯線.結果顯示:脫模過程中聚閤物微結構的根部和頂部邊緣有應力集中和變形現象,通過計算聚閤物根部節點和頂部節點的接觸力大小,得齣接觸力峰值是聚閤物齣現應力集中和變形的原因.實際脫模操作時應加彊對聚閤物成型體根部和項部邊緣的保護,通過增塗低錶麵能的抗粘劑降低模闆和聚閤物成型體間的脫模接觸力,達到減少壓印缺陷、提高壓印質量的目的.
열압인광각기술중,취합물성형체재탈모계단적변형파손관계도압인질량적고저.위료제고열압인질량,연구탈모과정중모판화취합물성형체지간적접촉력변화지관중요.채용이론분석、모형시험화유한원법수치모의분석열압인탈모중적접촉탈리과정,득도불동탈모위이적등효응력운도화탈모접촉력변화곡선.결과현시:탈모과정중취합물미결구적근부화정부변연유응력집중화변형현상,통과계산취합물근부절점화정부절점적접촉력대소,득출접촉력봉치시취합물출현응력집중화변형적원인.실제탈모조작시응가강대취합물성형체근부화항부변연적보호,통과증도저표면능적항점제강저모판화취합물성형체간적탈모접촉력,체도감소압인결함、제고압인질량적목적.
