河南化工
河南化工
하남화공
Henan Chemical Industry
2015年
10期
15-17
,共3页
孟国均%张建五%王行均%郜冬梅%马名杰
孟國均%張建五%王行均%郜鼕梅%馬名傑
맹국균%장건오%왕행균%고동매%마명걸
硅烷%纯度%改进氯硅法
硅烷%純度%改進氯硅法
규완%순도%개진록규법
主要介绍了高纯硅烷的用途、生产意义、产品现状,详细介绍了现有的生产工艺,分析其优缺点.提出改进的氯硅法工艺,产品纯度能达到99.9999999％,该技术具有完全自主知识产权,可打破国外技术垄断,缓解我国高纯硅烷长期依赖进口的局面.
主要介紹瞭高純硅烷的用途、生產意義、產品現狀,詳細介紹瞭現有的生產工藝,分析其優缺點.提齣改進的氯硅法工藝,產品純度能達到99.9999999％,該技術具有完全自主知識產權,可打破國外技術壟斷,緩解我國高純硅烷長期依賴進口的跼麵.
주요개소료고순규완적용도、생산의의、산품현상,상세개소료현유적생산공예,분석기우결점.제출개진적록규법공예,산품순도능체도99.9999999％,해기술구유완전자주지식산권,가타파국외기술롱단,완해아국고순규완장기의뢰진구적국면.
