材料工程
材料工程
재료공정
Journal of Materials Engineering
2015年
11期
19-23
,共5页
俱海浪%李宝河%刘帅%于广华
俱海浪%李寶河%劉帥%于廣華
구해랑%리보하%류수%우엄화
Co/Ni多层膜%反常霍尔效应%垂直磁各向异性
Co/Ni多層膜%反常霍爾效應%垂直磁各嚮異性
Co/Ni다층막%반상곽이효응%수직자각향이성
Co/Ni multilayers%anomalous Hall effect%perpendicular magnetic anisotropy
通过JGP560A型磁控溅射仪制备了一系列以Ta/Pt为底层的Co/Ni多层膜样品,研究了多层膜中Pt缓冲层厚度、周期层中Co与Ni厚度以及多层膜周期数对样品反常霍尔效应和磁性的影响.结果发现:逐渐增厚的Pt层可以使样品的矫顽力增加,但是分流作用会导致样品的霍尔电阻降低,通过比较确定Pt缓冲层的厚度为2nm;磁性层中Co和Ni都处于一定厚度范围内时,多层膜的霍尔回线才能具有良好的矩形度,当厚度超出其特定范围时,多层膜的矩形度会变差,经过分析确定磁性层中Co和Ni的厚度为均0.4nm;磁性层的周期数对样品的性能也有着显著的影响,最终通过对周期数优化获得的最佳样品结构为Ta(2nm)Pt(2nm)Co(0.4nm) Ni(0.4nm) Co(0.4nm) Pt(1nm),该样品的霍尔回线矩形度非常好,霍尔信号明显,该样品总厚度在7nm以内,可进一步研究其在垂直磁纳米结构中的应用.
通過JGP560A型磁控濺射儀製備瞭一繫列以Ta/Pt為底層的Co/Ni多層膜樣品,研究瞭多層膜中Pt緩遲層厚度、週期層中Co與Ni厚度以及多層膜週期數對樣品反常霍爾效應和磁性的影響.結果髮現:逐漸增厚的Pt層可以使樣品的矯頑力增加,但是分流作用會導緻樣品的霍爾電阻降低,通過比較確定Pt緩遲層的厚度為2nm;磁性層中Co和Ni都處于一定厚度範圍內時,多層膜的霍爾迴線纔能具有良好的矩形度,噹厚度超齣其特定範圍時,多層膜的矩形度會變差,經過分析確定磁性層中Co和Ni的厚度為均0.4nm;磁性層的週期數對樣品的性能也有著顯著的影響,最終通過對週期數優化穫得的最佳樣品結構為Ta(2nm)Pt(2nm)Co(0.4nm) Ni(0.4nm) Co(0.4nm) Pt(1nm),該樣品的霍爾迴線矩形度非常好,霍爾信號明顯,該樣品總厚度在7nm以內,可進一步研究其在垂直磁納米結構中的應用.
통과JGP560A형자공천사의제비료일계렬이Ta/Pt위저층적Co/Ni다층막양품,연구료다층막중Pt완충층후도、주기층중Co여Ni후도이급다층막주기수대양품반상곽이효응화자성적영향.결과발현:축점증후적Pt층가이사양품적교완력증가,단시분류작용회도치양품적곽이전조강저,통과비교학정Pt완충층적후도위2nm;자성층중Co화Ni도처우일정후도범위내시,다층막적곽이회선재능구유량호적구형도,당후도초출기특정범위시,다층막적구형도회변차,경과분석학정자성층중Co화Ni적후도위균0.4nm;자성층적주기수대양품적성능야유착현저적영향,최종통과대주기수우화획득적최가양품결구위Ta(2nm)Pt(2nm)Co(0.4nm) Ni(0.4nm) Co(0.4nm) Pt(1nm),해양품적곽이회선구형도비상호,곽이신호명현,해양품총후도재7nm이내,가진일보연구기재수직자납미결구중적응용.
