计量学报
計量學報
계량학보
Acta Metrologica Sinica
2015年
6期
575-578
,共4页
尹传祥%高思田%赵贤云%李琪%施玉书%李伟%卢荣胜
尹傳祥%高思田%趙賢雲%李琪%施玉書%李偉%盧榮勝
윤전상%고사전%조현운%리기%시옥서%리위%로영성
计量学%微纳米线宽测量%计量型紫外显微镜%光电倍增管
計量學%微納米線寬測量%計量型紫外顯微鏡%光電倍增管
계량학%미납미선관측량%계량형자외현미경%광전배증관
metrology%micro-nano linewidth measurement%metrological utraviolet microscope%photomultiplier tubes
计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应,将线宽的光学信号转换为电信号,并利用后续信号采样处理电路,提取出线宽的轮廓信号.利用激光干涉仪等精密定位装置,搭建了一套线宽测量系统,对线宽标称值为3 μm的标准样板进行测量,得到的线宽测量值为3.025 μm,与标称值仅相差25 nm.实验表明:该方法可以准确地获取线宽的边界信号,实现线宽的准确测量.
計量型紫外顯微鏡微納米線寬測量技術是利用光電倍增管的光電轉換效應,將線寬的光學信號轉換為電信號,併利用後續信號採樣處理電路,提取齣線寬的輪廓信號.利用激光榦涉儀等精密定位裝置,搭建瞭一套線寬測量繫統,對線寬標稱值為3 μm的標準樣闆進行測量,得到的線寬測量值為3.025 μm,與標稱值僅相差25 nm.實驗錶明:該方法可以準確地穫取線寬的邊界信號,實現線寬的準確測量.
계량형자외현미경미납미선관측량기술시이용광전배증관적광전전환효응,장선관적광학신호전환위전신호,병이용후속신호채양처리전로,제취출선관적륜곽신호.이용격광간섭의등정밀정위장치,탑건료일투선관측량계통,대선관표칭치위3 μm적표준양판진행측량,득도적선관측량치위3.025 μm,여표칭치부상차25 nm.실험표명:해방법가이준학지획취선관적변계신호,실현선관적준학측량.
