计量学报
計量學報
계량학보
Acta Metrologica Sinica
2015年
6期
570-574
,共5页
缪东晶%李建双%李连福%赫明钊%邓向瑞%蒋远林%康瑶%张京燕
繆東晶%李建雙%李連福%赫明釗%鄧嚮瑞%蔣遠林%康瑤%張京燕
무동정%리건쌍%리련복%혁명쇠%산향서%장원림%강요%장경연
计量学%大长度%阿贝误差%激光干涉仪
計量學%大長度%阿貝誤差%激光榦涉儀
계량학%대장도%아패오차%격광간섭의
metrology%large length%Abbe error%laser interferometer
提出一种基于3路独立激光干涉仪消除大长度激光测量中的阿贝误差的方法,3路干涉仪的安装位置可布置成任意三角形.通过3路干涉仪的测量结果及被测仪器与3路干涉仪安装位置的几何关系,构造一路与被测仪器同光路的虚拟干涉仪,推导虚拟干涉仪的测长公式.该算法对干涉仪的安装位置无特殊要求,在实践中易于实现.为验证算法的有效性,依托于室内80 m大长度标准装置,通过改变被测仪器安装位置,在45 m范围内进行了3组不同的验证实验.实验结果显示消除阿贝误差后,残余的其它误差的最大值仅为1.10 μm,该算法可有效地消除阿贝误差.
提齣一種基于3路獨立激光榦涉儀消除大長度激光測量中的阿貝誤差的方法,3路榦涉儀的安裝位置可佈置成任意三角形.通過3路榦涉儀的測量結果及被測儀器與3路榦涉儀安裝位置的幾何關繫,構造一路與被測儀器同光路的虛擬榦涉儀,推導虛擬榦涉儀的測長公式.該算法對榦涉儀的安裝位置無特殊要求,在實踐中易于實現.為驗證算法的有效性,依託于室內80 m大長度標準裝置,通過改變被測儀器安裝位置,在45 m範圍內進行瞭3組不同的驗證實驗.實驗結果顯示消除阿貝誤差後,殘餘的其它誤差的最大值僅為1.10 μm,該算法可有效地消除阿貝誤差.
제출일충기우3로독립격광간섭의소제대장도격광측량중적아패오차적방법,3로간섭의적안장위치가포치성임의삼각형.통과3로간섭의적측량결과급피측의기여3로간섭의안장위치적궤하관계,구조일로여피측의기동광로적허의간섭의,추도허의간섭의적측장공식.해산법대간섭의적안장위치무특수요구,재실천중역우실현.위험증산법적유효성,의탁우실내80 m대장도표준장치,통과개변피측의기안장위치,재45 m범위내진행료3조불동적험증실험.실험결과현시소제아패오차후,잔여적기타오차적최대치부위1.10 μm,해산법가유효지소제아패오차.
