科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
Science Technology and Engineering
2015年
30期
128-131
,共4页
赵龙%张斌珍%段俊萍%崔建利
趙龍%張斌珍%段俊萍%崔建利
조룡%장빈진%단준평%최건리
微悬臂梁%曝光剂量%SU-8%交联反应%紫外光刻
微懸臂樑%曝光劑量%SU-8%交聯反應%紫外光刻
미현비량%폭광제량%SU-8%교련반응%자외광각
micro-cantilever%exposure dose%SU-8%cross-linking reaction%UV lithography
研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构.通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149 μm到345 μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式.结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础.与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间.
研究瞭一種以SU-8光刻膠為結構材料的微懸臂結構.通過控製紫外光刻過程中的曝光劑量,僅僅使光刻膠的上部分髮生交聯,下部分的光照彊度不足以髮生交聯反應,製作瞭厚度從149 μm到345 μm不等的微懸臂結構,併通過分析得齣瞭懸臂厚度與曝光劑量的關繫式.結果顯示,採用該方法所製作的懸臂結構具有質量輕、價格便宜、操作靈活性大等特點,為製作齣複雜的三維空間懸臂結構奠定瞭基礎.與傳統以硅或金屬材料為基礎的微懸臂相比,能夠更好地適應目前微型傳感器的髮展趨勢,具有非常廣闊的髮展空間.
연구료일충이SU-8광각효위결구재료적미현비결구.통과공제자외광각과정중적폭광제량,부부사광각효적상부분발생교련,하부분적광조강도불족이발생교련반응,제작료후도종149 μm도345 μm불등적미현비결구,병통과분석득출료현비후도여폭광제량적관계식.결과현시,채용해방법소제작적현비결구구유질량경、개격편의、조작령활성대등특점,위제작출복잡적삼유공간현비결구전정료기출.여전통이규혹금속재료위기출적미현비상비,능구경호지괄응목전미형전감기적발전추세,구유비상엄활적발전공간.
