工具技术
工具技術
공구기술
Tool Engineering
2015年
10期
28-31
,共4页
胡恒宁%杜昊%李洪林%周彤%熊计%赵海波
鬍恆寧%杜昊%李洪林%週彤%熊計%趙海波
호항저%두호%리홍림%주동%웅계%조해파
类金刚石薄膜%形貌%拉曼%力学性能
類金剛石薄膜%形貌%拉曼%力學性能
류금강석박막%형모%랍만%역학성능
DLC%morphology%Raman%mechanical properties
使用等离子增强化学气相沉积的方法制备不同沉积压强下的类金刚石薄膜.反应气体为C2H2和CH4,辅助气体为Ar.通过控制气体流量来达到改变沉积压强的目的,沉积压强分别为2.5Pa、3.8Pa、5.0Pa和6.1Pa,为排除其它工艺参数对实验结果的影响,气体流量比C2H2:CH4:Ar =2:2:1保持不变.使用扫描电镜、拉曼光谱和纳米压痕等检测手段对薄膜的组织和性能进行分析.研究表明,薄膜均为非晶态结构;随着沉积压强的升高,薄膜沉积速率不断提高;随着沉积压强的升高,薄膜的ID/IG值不断下降,说明薄膜中的sp3键含量不断上升,与此同时,薄膜中的硬度和弹性模量不断提高;通过Rockwell压痕法测试膜基结合力,结果表明四组薄膜均有较高的结合力,其中沉积压强为5.0Pa的薄膜的结合力最好.
使用等離子增彊化學氣相沉積的方法製備不同沉積壓彊下的類金剛石薄膜.反應氣體為C2H2和CH4,輔助氣體為Ar.通過控製氣體流量來達到改變沉積壓彊的目的,沉積壓彊分彆為2.5Pa、3.8Pa、5.0Pa和6.1Pa,為排除其它工藝參數對實驗結果的影響,氣體流量比C2H2:CH4:Ar =2:2:1保持不變.使用掃描電鏡、拉曼光譜和納米壓痕等檢測手段對薄膜的組織和性能進行分析.研究錶明,薄膜均為非晶態結構;隨著沉積壓彊的升高,薄膜沉積速率不斷提高;隨著沉積壓彊的升高,薄膜的ID/IG值不斷下降,說明薄膜中的sp3鍵含量不斷上升,與此同時,薄膜中的硬度和彈性模量不斷提高;通過Rockwell壓痕法測試膜基結閤力,結果錶明四組薄膜均有較高的結閤力,其中沉積壓彊為5.0Pa的薄膜的結閤力最好.
사용등리자증강화학기상침적적방법제비불동침적압강하적류금강석박막.반응기체위C2H2화CH4,보조기체위Ar.통과공제기체류량래체도개변침적압강적목적,침적압강분별위2.5Pa、3.8Pa、5.0Pa화6.1Pa,위배제기타공예삼수대실험결과적영향,기체류량비C2H2:CH4:Ar =2:2:1보지불변.사용소묘전경、랍만광보화납미압흔등검측수단대박막적조직화성능진행분석.연구표명,박막균위비정태결구;수착침적압강적승고,박막침적속솔불단제고;수착침적압강적승고,박막적ID/IG치불단하강,설명박막중적sp3건함량불단상승,여차동시,박막중적경도화탄성모량불단제고;통과Rockwell압흔법측시막기결합력,결과표명사조박막균유교고적결합력,기중침적압강위5.0Pa적박막적결합력최호.
