南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics
2015年
5期
678-682
,共5页
李玉芳%金磊%王威%沈鸿烈
李玉芳%金磊%王威%瀋鴻烈
리옥방%금뢰%왕위%침홍렬
ZnO纳米结构%水热法%透明导电薄膜%紫外辐照处理%电学性能
ZnO納米結構%水熱法%透明導電薄膜%紫外輻照處理%電學性能
ZnO납미결구%수열법%투명도전박막%자외복조처리%전학성능
ZnO nanostructure%hydrothermal method%transparent conductive film%UV treatment%electrical properties
ZnO作为一种典型的透明导电氧化物(Transparent conductive oxide,TCO)材料,具有同氧化铟锡(Indiumtin oxide,ITO)相比拟的光电性能,其原料丰富、绿色环保、易于制备、生成成本低等优点使ZnO成为最有希望替代ITO的材料.本文以玻璃为衬底,利用量子点种子层作为缓冲层,采用传统水热方法制备了低成本ZnO透明导电薄膜,采用特殊的紫外光辐照工艺对薄膜进行后处理,探索薄膜生长参数和紫外光辐照处理工艺对其透光率和导电性的影响.结果表明,紫外辐照处理不影响薄膜的透光性能,而使材料的方块电阻降低3个数量级,数值从没处理时的1.5×105Ω/□降低到150 Ω/□,极大地提高了薄膜的电导率,为ZnO薄膜材料电导率的提高提供了一个简单高效的途径.
ZnO作為一種典型的透明導電氧化物(Transparent conductive oxide,TCO)材料,具有同氧化銦錫(Indiumtin oxide,ITO)相比擬的光電性能,其原料豐富、綠色環保、易于製備、生成成本低等優點使ZnO成為最有希望替代ITO的材料.本文以玻璃為襯底,利用量子點種子層作為緩遲層,採用傳統水熱方法製備瞭低成本ZnO透明導電薄膜,採用特殊的紫外光輻照工藝對薄膜進行後處理,探索薄膜生長參數和紫外光輻照處理工藝對其透光率和導電性的影響.結果錶明,紫外輻照處理不影響薄膜的透光性能,而使材料的方塊電阻降低3箇數量級,數值從沒處理時的1.5×105Ω/□降低到150 Ω/□,極大地提高瞭薄膜的電導率,為ZnO薄膜材料電導率的提高提供瞭一箇簡單高效的途徑.
ZnO작위일충전형적투명도전양화물(Transparent conductive oxide,TCO)재료,구유동양화인석(Indiumtin oxide,ITO)상비의적광전성능,기원료봉부、록색배보、역우제비、생성성본저등우점사ZnO성위최유희망체대ITO적재료.본문이파리위츤저,이용양자점충자층작위완충층,채용전통수열방법제비료저성본ZnO투명도전박막,채용특수적자외광복조공예대박막진행후처리,탐색박막생장삼수화자외광복조처리공예대기투광솔화도전성적영향.결과표명,자외복조처리불영향박막적투광성능,이사재료적방괴전조강저3개수량급,수치종몰처리시적1.5×105Ω/□강저도150 Ω/□,겁대지제고료박막적전도솔,위ZnO박막재료전도솔적제고제공료일개간단고효적도경.
