PG-300去应力抛光系统的结构设计与优化
PG-300거응력포광계통적결구설계여우화
The Design and the Development of the PG-300 Stress-relieve Polishing Machine
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    Equipment for Electronic Products Manufacturing
    2015年 10期 27-30 ,共4页

    杨师%李伟%王铮%史霄

    양사%리위%왕쟁%사소

    集成电路制造设备%去应力抛光%主轴%机架 集成電路製造設備%去應力拋光%主軸%機架
    집성전로제조설비%거응력포광%주축%궤가
    介绍了集成于减薄抛光一体机中的PG-300去应力抛光系统的主要结构及技术特点,主要包括抛光头主轴部分的正向设计,论述了花键轴的安装结构及调平方法,导向轴的设计安装等.并通过运用有限元软件对该抛光头机架进行受载情况仿真,消除了抛光过程中结构变形对抛光效果的影响,进而在理论和实践两个方面确定了该机架已达到设计要求.
    개소료집성우감박포광일체궤중적PG-300거응력포광계통적주요결구급기술특점,주요포괄포광두주축부분적정향설계,논술료화건축적안장결구급조평방법,도향축적설계안장등.병통과운용유한원연건대해포광두궤가진행수재정황방진,소제료포광과정중결구변형대포광효과적영향,진이재이론화실천량개방면학정료해궤가이체도설계요구.
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