电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
10期
23-26
,共4页
硅片清洗设备%技术改进%运动控制方式%工艺适应%安全性能
硅片清洗設備%技術改進%運動控製方式%工藝適應%安全性能
규편청세설비%기술개진%운동공제방식%공예괄응%안전성능
全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化.介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方面,大大提高了设备的稳定性及安全性.
全自動硅片清洗設備電氣控製是以PLC、觸摸屏為覈心實現硅片清洗的自動化.介紹瞭該設備在PLC控製方麵的技術改進,包括對機械臂的運動控製方式、工藝適應性以及安全性能兩箇方麵,大大提高瞭設備的穩定性及安全性.
전자동규편청세설비전기공제시이PLC、촉모병위핵심실현규편청세적자동화.개소료해설비재PLC공제방면적기술개진,포괄대궤계비적운동공제방식、공예괄응성이급안전성능량개방면,대대제고료설비적은정성급안전성.
