科技视界
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과기시계
Science&Technology Vision
2015年
32期
14-15
,共2页
纳米压印%光刻%专利%发展前景%技术挑战
納米壓印%光刻%專利%髮展前景%技術挑戰
납미압인%광각%전리%발전전경%기술도전
光刻技术是半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一,传统光刻技术有着各自的缺点,结构复杂,分辨率受限于衍射极限.随着在应用中技术问题的增多,寻找解决技术障碍的新方案、找到下一代可行的技术路径,备受人们的关注.在这场技术竞赛中,纳米压印工艺得到人们的普遍关注,它的分辨率不受限于衍射极限,图形的均一性符合大生产的要求,使得人们看到找到纳米技术的突破口的可能.本文统计、分析了全球纳米压印工艺的专利申请文件,并通过相关重点专利对纳米压印工艺进行了分析介绍,继而针对纳米压印工艺的发展所遇到的关键技术挑战进行了归纳.
光刻技術是半導體及其相關產業髮展和進步的關鍵技術之一,傳統光刻技術有著各自的缺點,結構複雜,分辨率受限于衍射極限.隨著在應用中技術問題的增多,尋找解決技術障礙的新方案、找到下一代可行的技術路徑,備受人們的關註.在這場技術競賽中,納米壓印工藝得到人們的普遍關註,它的分辨率不受限于衍射極限,圖形的均一性符閤大生產的要求,使得人們看到找到納米技術的突破口的可能.本文統計、分析瞭全毬納米壓印工藝的專利申請文件,併通過相關重點專利對納米壓印工藝進行瞭分析介紹,繼而針對納米壓印工藝的髮展所遇到的關鍵技術挑戰進行瞭歸納.
광각기술시반도체급기상관산업발전화진보적관건기술지일,전통광각기술유착각자적결점,결구복잡,분변솔수한우연사겁한.수착재응용중기술문제적증다,심조해결기술장애적신방안、조도하일대가행적기술로경,비수인문적관주.재저장기술경새중,납미압인공예득도인문적보편관주,타적분변솔불수한우연사겁한,도형적균일성부합대생산적요구,사득인문간도조도납미기술적돌파구적가능.본문통계、분석료전구납미압인공예적전리신청문건,병통과상관중점전리대납미압인공예진행료분석개소,계이침대납미압인공예적발전소우도적관건기술도전진행료귀납.
