太赫兹科学与电子信息学报
太赫玆科學與電子信息學報
태혁자과학여전자신식학보
Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology
2015年
5期
718-721
,共4页
折叠波导%损耗%衰减%太赫兹
摺疊波導%損耗%衰減%太赫玆
절첩파도%손모%쇠감%태혁자
folded waveguide%loss%attenuation%terahertz
在太赫兹频段,折叠波导慢波结构的损耗很大,因此需要在设计220 GHz折叠波导行波管慢波结构时进行深入研究.首先通过软件仿真的方法预测了慢波结构的S参数,然后利用紫外光刻、电镀和微铸模成型(UV-LIGA)工艺制作了慢波结构样品并进行测量.测量结果表明,该样品在220 GHz时衰减系数约为240 dB/m,与仿真结果符合较好.显微照片显示,该样品产生了形变,造成高频段2种结果存在差异.
在太赫玆頻段,摺疊波導慢波結構的損耗很大,因此需要在設計220 GHz摺疊波導行波管慢波結構時進行深入研究.首先通過軟件倣真的方法預測瞭慢波結構的S參數,然後利用紫外光刻、電鍍和微鑄模成型(UV-LIGA)工藝製作瞭慢波結構樣品併進行測量.測量結果錶明,該樣品在220 GHz時衰減繫數約為240 dB/m,與倣真結果符閤較好.顯微照片顯示,該樣品產生瞭形變,造成高頻段2種結果存在差異.
재태혁자빈단,절첩파도만파결구적손모흔대,인차수요재설계220 GHz절첩파도행파관만파결구시진행심입연구.수선통과연건방진적방법예측료만파결구적S삼수,연후이용자외광각、전도화미주모성형(UV-LIGA)공예제작료만파결구양품병진행측량.측량결과표명,해양품재220 GHz시쇠감계수약위240 dB/m,여방진결과부합교호.현미조편현시,해양품산생료형변,조성고빈단2충결과존재차이.