CAJ | 학술논문

万方数据

太赫兹科学与电子信息学报 태혁자과학여전자신식학보
Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology
2015年 5期 684-690,706 ,共8页

冯进军%蔡军%胡银富%李含雁%杜英华%唐烨%李莉莉%潘攀

풍진군%채군%호은부%리함안%두영화%당엽%리리리%반반

太赫兹%行波管%返波管%微机电系统技术%金刚石太赫玆%行波管%返波管%微機電繫統技術%金剛石
태혁자%행파관%반파관%미궤전계통기술%금강석
terahertz%Traveling Wave Tube%Backward-Wave Oscillator%Micro Electro Mechanical System%diamond

介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构.器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等.最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能.
개소료태혁자빈단진공전자기건적연구화개발진전,포괄만파결구이론、설계、모의급우화,미가공화미조장기술,정관기술등.저사기건포괄행파관、반파관、사주관、지대진탕기급행파관해파방대기등,고빈결구이절첩파도만파결구위주,재태혁자반파관중칙이용협편가재파도만파결구.기건기술포괄미궤전계통(MEMS)기술,미파등리자체화학기상침적(MPCVD)금강석생장、금속화화봉접기술등.최후급출W파단、G파단이급340 GHz부건화기건소체도적성능.