电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
Journal of Electronic Measurement and Instrumentation
2015年
10期
1424-1430
,共7页
张鉴%戚昊琛%杨文华%黄正峰%胡智文
張鑒%慼昊琛%楊文華%黃正峰%鬍智文
장감%척호침%양문화%황정봉%호지문
胎压监测%MEMS压力传感器%高线性%接触式%有限元分析
胎壓鑑測%MEMS壓力傳感器%高線性%接觸式%有限元分析
태압감측%MEMS압력전감기%고선성%접촉식%유한원분석
tire pressure monitoring%MEMS pressure sensor%high linearity%touching mode%finite element method
无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置.为对胎压监测系统实现高线性的压力测量,提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器.该结构改变了经典的两极板接触过程,并在下极板底部中心设置基于深刻蚀工艺的深孔结构,使传感器几乎完全工作在线性区间.针对汽车胎压的量程,分析了复合膜厚度对极板接触状态及线性度的影响,并利用有限元分析法对结构进行了模拟与验证,最后给出了工艺流程说明.该方案的提出,可为工作于100～ 800 kPa的汽车胎压监测提供一种新的MEMS传感器实现方式.
無線胎壓鑑測繫統是近年來得到高度關註的一種汽車主動安全裝置.為對胎壓鑑測繫統實現高線性的壓力測量,提齣瞭一種毬冠形底部固定極闆與複閤膜可動上極闆相結閤的電容式MEMS壓力傳感器.該結構改變瞭經典的兩極闆接觸過程,併在下極闆底部中心設置基于深刻蝕工藝的深孔結構,使傳感器幾乎完全工作在線性區間.針對汽車胎壓的量程,分析瞭複閤膜厚度對極闆接觸狀態及線性度的影響,併利用有限元分析法對結構進行瞭模擬與驗證,最後給齣瞭工藝流程說明.該方案的提齣,可為工作于100～ 800 kPa的汽車胎壓鑑測提供一種新的MEMS傳感器實現方式.
무선태압감측계통시근년래득도고도관주적일충기차주동안전장치.위대태압감측계통실현고선성적압력측량,제출료일충구관형저부고정겁판여복합막가동상겁판상결합적전용식MEMS압력전감기.해결구개변료경전적량겁판접촉과정,병재하겁판저부중심설치기우심각식공예적심공결구,사전감기궤호완전공작재선성구간.침대기차태압적량정,분석료복합막후도대겁판접촉상태급선성도적영향,병이용유한원분석법대결구진행료모의여험증,최후급출료공예류정설명.해방안적제출,가위공작우100～ 800 kPa적기차태압감측제공일충신적MEMS전감기실현방식.
