传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
Transducer and Microsystem Technologies
2015年
11期
1-4,11
,共5页
柔性传感器%柔性基质%气体测量%压力测量%湿度测量
柔性傳感器%柔性基質%氣體測量%壓力測量%濕度測量
유성전감기%유성기질%기체측량%압력측량%습도측량
flexible sensor%flexible substrate%gas measurement%pressure measurement%humidity measurement
介绍了常用柔性传感器的特点和分类,对其常用的基底与薄膜材料做了详细介绍.阐述了新型柔性气体、压力、湿度传感器的结构、工艺与性能,介绍了其适用环境和测量范围.将常用普通传感器与柔性传感器的基本特点进行了对比分析.指出了常用柔性传感器发展中的主要制约因素,并对未来研究方向提出了展望.
介紹瞭常用柔性傳感器的特點和分類,對其常用的基底與薄膜材料做瞭詳細介紹.闡述瞭新型柔性氣體、壓力、濕度傳感器的結構、工藝與性能,介紹瞭其適用環境和測量範圍.將常用普通傳感器與柔性傳感器的基本特點進行瞭對比分析.指齣瞭常用柔性傳感器髮展中的主要製約因素,併對未來研究方嚮提齣瞭展望.
개소료상용유성전감기적특점화분류,대기상용적기저여박막재료주료상세개소.천술료신형유성기체、압력、습도전감기적결구、공예여성능,개소료기괄용배경화측량범위.장상용보통전감기여유성전감기적기본특점진행료대비분석.지출료상용유성전감기발전중적주요제약인소,병대미래연구방향제출료전망.