科技广场
科技廣場
과기엄장
Science Mosaic
2015年
9期
52-55
,共4页
唐刚%邬文静%李志彪%胡敏%徐斌
唐剛%鄔文靜%李誌彪%鬍敏%徐斌
당강%오문정%리지표%호민%서빈
压电%管理电路%MEMS%振动能量采集器
壓電%管理電路%MEMS%振動能量採集器
압전%관리전로%MEMS%진동능량채집기
Piezoelectric%Management Circuit%MEMS%Vibration Energy Harvester
本文探讨了一种压电MEMS振动能量采集器,研究了其加工工艺,设计了基于微型电源管理芯片的能量管理电路,并对器件的输出电容充电性能进行了实验研究.实验结果表明了这种器件在低频环境下应用的可行性.
本文探討瞭一種壓電MEMS振動能量採集器,研究瞭其加工工藝,設計瞭基于微型電源管理芯片的能量管理電路,併對器件的輸齣電容充電性能進行瞭實驗研究.實驗結果錶明瞭這種器件在低頻環境下應用的可行性.
본문탐토료일충압전MEMS진동능량채집기,연구료기가공공예,설계료기우미형전원관리심편적능량관리전로,병대기건적수출전용충전성능진행료실험연구.실험결과표명료저충기건재저빈배경하응용적가행성.
The paper discusses the structure and fabrication process of MEMS-based piezoelectric vibration energy harvester,designs the energy management circuit on micro-power chip,and carries on experiments for re-searching the capacitor charging performance of the fabricated device.The experiments results demonstrate the feasibility of the micro energy harvester in the low frequency environment.