计算机仿真
計算機倣真
계산궤방진
Computer Simulation
2015年
11期
245-249
,共5页
张东亚%章亚男%沈林勇%钱晋武
張東亞%章亞男%瀋林勇%錢晉武
장동아%장아남%침림용%전진무
光栅拼接%纳米定位%驱动器%滚珠丝杆
光柵拼接%納米定位%驅動器%滾珠絲桿
광책병접%납미정위%구동기%곤주사간
Grating tiling%Nano-positioning%Actuator%Ballscrew
为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种滚珠丝杆的机械式微位移驱动器,能够实现十几毫米的大行程.为了达到高分辨率,在根据系统辨识得到的线性传递函数的基础上,设计了基于轨迹规划的控制器和不完全微分PID两种控制器,在进行仿真对比的基础上,采用双频激光干涉仪作为反馈环节进行微米级和纳米级阶跃响应实验,初步实验证明,改进的驱动系统能够实现很高的分辨率,且使用轨迹规划控制器与传统PID控制器相比,超调量较小,调节速度也更快,能够适用于伺服定位控制系统之中.
為瞭滿足大呎吋衍射光柵拼接調整架精密調整的需求,設計瞭一種滾珠絲桿的機械式微位移驅動器,能夠實現十幾毫米的大行程.為瞭達到高分辨率,在根據繫統辨識得到的線性傳遞函數的基礎上,設計瞭基于軌跡規劃的控製器和不完全微分PID兩種控製器,在進行倣真對比的基礎上,採用雙頻激光榦涉儀作為反饋環節進行微米級和納米級階躍響應實驗,初步實驗證明,改進的驅動繫統能夠實現很高的分辨率,且使用軌跡規劃控製器與傳統PID控製器相比,超調量較小,調節速度也更快,能夠適用于伺服定位控製繫統之中.
위료만족대척촌연사광책병접조정가정밀조정적수구,설계료일충곤주사간적궤계식미위이구동기,능구실현십궤호미적대행정.위료체도고분변솔,재근거계통변식득도적선성전체함수적기출상,설계료기우궤적규화적공제기화불완전미분PID량충공제기,재진행방진대비적기출상,채용쌍빈격광간섭의작위반궤배절진행미미급화납미급계약향응실험,초보실험증명,개진적구동계통능구실현흔고적분변솔,차사용궤적규화공제기여전통PID공제기상비,초조량교소,조절속도야경쾌,능구괄용우사복정위공제계통지중.
