光学仪器
光學儀器
광학의기
Optical Instruments
2015年
5期
456-460
,共5页
冯志祥%李浩川%朱京涛%吴文娟
馮誌祥%李浩川%硃京濤%吳文娟
풍지상%리호천%주경도%오문연
多层膜%热稳定性%界面特性
多層膜%熱穩定性%界麵特性
다층막%열은정성%계면특성
multilayer%thermal stability%interface
为研究多层膜反射镜的热稳定性,设计制备了工作在778 eV处的Co/Mo2C多层膜,研究了多层膜在退火实验中的热稳定性及界面结构的变化.通过X射线反射测试表征及拟合退火前后多层膜的结构信息,并用X射线衍射表征多层膜退火过程中膜层晶相结构的变化.结果表明,多层膜的界面质量较好,未退火样品处于无定形态.在退火过程中,周期厚度变化小,多层膜的热稳定性优异.随着退火温度的升高,在Mo2 C-on-Co界面处,Co从Co-C混合区域中析出生成Co3 Mo晶粒,界面扩散程度加大,从而Co-on-Mo2C界面的热稳定性要优于Mo2C-on-Co界面.
為研究多層膜反射鏡的熱穩定性,設計製備瞭工作在778 eV處的Co/Mo2C多層膜,研究瞭多層膜在退火實驗中的熱穩定性及界麵結構的變化.通過X射線反射測試錶徵及擬閤退火前後多層膜的結構信息,併用X射線衍射錶徵多層膜退火過程中膜層晶相結構的變化.結果錶明,多層膜的界麵質量較好,未退火樣品處于無定形態.在退火過程中,週期厚度變化小,多層膜的熱穩定性優異.隨著退火溫度的升高,在Mo2 C-on-Co界麵處,Co從Co-C混閤區域中析齣生成Co3 Mo晶粒,界麵擴散程度加大,從而Co-on-Mo2C界麵的熱穩定性要優于Mo2C-on-Co界麵.
위연구다층막반사경적열은정성,설계제비료공작재778 eV처적Co/Mo2C다층막,연구료다층막재퇴화실험중적열은정성급계면결구적변화.통과X사선반사측시표정급의합퇴화전후다층막적결구신식,병용X사선연사표정다층막퇴화과정중막층정상결구적변화.결과표명,다층막적계면질량교호,미퇴화양품처우무정형태.재퇴화과정중,주기후도변화소,다층막적열은정성우이.수착퇴화온도적승고,재Mo2 C-on-Co계면처,Co종Co-C혼합구역중석출생성Co3 Mo정립,계면확산정도가대,종이Co-on-Mo2C계면적열은정성요우우Mo2C-on-Co계면.
