电脑知识与技术
電腦知識與技術
전뇌지식여기술
Computer Knowledge and Technology
2015年
25期
161-162,167
,共3页
Monte Carlo法%薄膜生长%薄膜应力%薄膜粗糙度
Monte Carlo法%薄膜生長%薄膜應力%薄膜粗糙度
Monte Carlo법%박막생장%박막응력%박막조조도
该文采用Monte Carlo算法,以面心立方结构材料为例,对薄膜生长过程中的应力进行了计算机模拟,同时也模拟了在薄膜生长的过程中表面粗糙和基底温度之间所存在的关系.通过模拟结果发现,当基底温度较低时薄膜表面相对粗糙,而随着基底温度的身高表面粗糙程度则随之下降,而当温度到达一定程度时表面粗糙度会达到最低,之后这回随着温度的升高粗糙度又将升高.模拟结果还表明在一定原子入射率下,当薄膜沉积相同厚度下,薄膜应力随基底温度的增大而减小.
該文採用Monte Carlo算法,以麵心立方結構材料為例,對薄膜生長過程中的應力進行瞭計算機模擬,同時也模擬瞭在薄膜生長的過程中錶麵粗糙和基底溫度之間所存在的關繫.通過模擬結果髮現,噹基底溫度較低時薄膜錶麵相對粗糙,而隨著基底溫度的身高錶麵粗糙程度則隨之下降,而噹溫度到達一定程度時錶麵粗糙度會達到最低,之後這迴隨著溫度的升高粗糙度又將升高.模擬結果還錶明在一定原子入射率下,噹薄膜沉積相同厚度下,薄膜應力隨基底溫度的增大而減小.
해문채용Monte Carlo산법,이면심립방결구재료위례,대박막생장과정중적응력진행료계산궤모의,동시야모의료재박막생장적과정중표면조조화기저온도지간소존재적관계.통과모의결과발현,당기저온도교저시박막표면상대조조,이수착기저온도적신고표면조조정도칙수지하강,이당온도도체일정정도시표면조조도회체도최저,지후저회수착온도적승고조조도우장승고.모의결과환표명재일정원자입사솔하,당박막침적상동후도하,박막응력수기저온도적증대이감소.
