强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
High Power Laser and Particle Beams
2015年
11期
150-154
,共5页
卢怡如%张称%阮久福%杨军%邓光晟%吕国强
盧怡如%張稱%阮久福%楊軍%鄧光晟%呂國彊
로이여%장칭%원구복%양군%산광성%려국강
全金属光栅器件%光刻%有限元%内应力%粘弹性
全金屬光柵器件%光刻%有限元%內應力%粘彈性
전금속광책기건%광각%유한원%내응력%점탄성
full-metal grating%photolithography%finite element analysis%internal stress%viscoelasticity
建立了光刻工艺中内应力的三维有限元分析模型,采用热-结构耦合分析,研究了胶膜厚度、后烘温度以及降温速率对SU-8胶层中的内应力产生的影响.综合以上因素发现,较胶膜厚度和后烘温度,降温速率对胶膜应力影响最大,降温速率越小,胶膜内应力越小,当降温速率小于6℃/h时,进一步降低降温速率对内应力影响不大.根据上述仿真结果进行了全金属光栅的工艺实验,发现与内应力相关的问题得到了有效解决.
建立瞭光刻工藝中內應力的三維有限元分析模型,採用熱-結構耦閤分析,研究瞭膠膜厚度、後烘溫度以及降溫速率對SU-8膠層中的內應力產生的影響.綜閤以上因素髮現,較膠膜厚度和後烘溫度,降溫速率對膠膜應力影響最大,降溫速率越小,膠膜內應力越小,噹降溫速率小于6℃/h時,進一步降低降溫速率對內應力影響不大.根據上述倣真結果進行瞭全金屬光柵的工藝實驗,髮現與內應力相關的問題得到瞭有效解決.
건립료광각공예중내응력적삼유유한원분석모형,채용열-결구우합분석,연구료효막후도、후홍온도이급강온속솔대SU-8효층중적내응력산생적영향.종합이상인소발현,교효막후도화후홍온도,강온속솔대효막응력영향최대,강온속솔월소,효막내응력월소,당강온속솔소우6℃/h시,진일보강저강온속솔대내응력영향불대.근거상술방진결과진행료전금속광책적공예실험,발현여내응력상관적문제득도료유효해결.
