强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
High Power Laser and Particle Beams
2015年
11期
209-214
,共6页
岳晓斌%徐敏%崔海龙%雷大江%张晓峰
嶽曉斌%徐敏%崔海龍%雷大江%張曉峰
악효빈%서민%최해룡%뢰대강%장효봉
原子力显微镜%金刚石刀具%表面轮廓质量%多参数集成测量
原子力顯微鏡%金剛石刀具%錶麵輪廓質量%多參數集成測量
원자력현미경%금강석도구%표면륜곽질량%다삼수집성측량
atomic force microscope%diamond tool%surface profile quality%multi-parameter integrated measurement
为有效解决金刚石刀具表面轮廓质量评价指标分散、无法进行全面系统测量的难题,基于原子力显微镜和超精密回转轴系,提出了实现前后刀面粗糙度、刃口锋利度和刃口微豁三个关键指标的集成测量方法.根据金刚石刀具表面轮廓质量的测量要求,以原子力显微镜扫描系统、气浮隔振平台、二维移动平台以及精密回转轴系为基础构建测量系统,精确测量了金刚石刀具刃口附近的表面微观形貌;采用基于MATLAB开发的专用测量软件对原始数据进行处理,得到金刚石刀具前后刀面粗糙度值、刃口锋利度值和刃口微豁范围;并对测量误差进行了分析,提出了控制要求.通过上述自主开发的测量仪器,可以高效、完整地描述金刚石刀具表面轮廓质量,能够实现nm级粗糙度、亚μm级锋利度以及μm级微豁的准确测量.
為有效解決金剛石刀具錶麵輪廓質量評價指標分散、無法進行全麵繫統測量的難題,基于原子力顯微鏡和超精密迴轉軸繫,提齣瞭實現前後刀麵粗糙度、刃口鋒利度和刃口微豁三箇關鍵指標的集成測量方法.根據金剛石刀具錶麵輪廓質量的測量要求,以原子力顯微鏡掃描繫統、氣浮隔振平檯、二維移動平檯以及精密迴轉軸繫為基礎構建測量繫統,精確測量瞭金剛石刀具刃口附近的錶麵微觀形貌;採用基于MATLAB開髮的專用測量軟件對原始數據進行處理,得到金剛石刀具前後刀麵粗糙度值、刃口鋒利度值和刃口微豁範圍;併對測量誤差進行瞭分析,提齣瞭控製要求.通過上述自主開髮的測量儀器,可以高效、完整地描述金剛石刀具錶麵輪廓質量,能夠實現nm級粗糙度、亞μm級鋒利度以及μm級微豁的準確測量.
위유효해결금강석도구표면륜곽질량평개지표분산、무법진행전면계통측량적난제,기우원자력현미경화초정밀회전축계,제출료실현전후도면조조도、인구봉리도화인구미활삼개관건지표적집성측량방법.근거금강석도구표면륜곽질량적측량요구,이원자력현미경소묘계통、기부격진평태、이유이동평태이급정밀회전축계위기출구건측량계통,정학측량료금강석도구인구부근적표면미관형모;채용기우MATLAB개발적전용측량연건대원시수거진행처리,득도금강석도구전후도면조조도치、인구봉리도치화인구미활범위;병대측량오차진행료분석,제출료공제요구.통과상술자주개발적측량의기,가이고효、완정지묘술금강석도구표면륜곽질량,능구실현nm급조조도、아μm급봉리도이급μm급미활적준학측량.
