CAJ | 학술논문

大气常压等离子射流清洗溶胶-凝胶SiO2膜表面油脂污染物
대기상압등리자사류청세용효-응효SiO2막표면유지오염물
Atmosphere pressure plasma cleaning of grease contamination on sol-gel SiO2 coating

万方数据

强激光与粒子束彊激光與粒子束 강격광여입자속
High Power Laser and Particle Beams
2015年 11期 112-117 ,共6页

刘昊%苗心向%杨科%吕海兵%邹睿%周国瑞%程晓峰%严鸿维%袁晓东

류호%묘심향%양과%려해병%추예%주국서%정효봉%엄홍유%원효동

大气常压等离子射流%溶胶-凝胶SiO2膜%高功率激光真空系统%油脂污染物%激光损伤阈值大氣常壓等離子射流%溶膠-凝膠SiO2膜%高功率激光真空繫統%油脂汙染物%激光損傷閾值
대기상압등리자사류%용효-응효SiO2막%고공솔격광진공계통%유지오염물%격광손상역치
atmosphere pressure plasma jet%sol-gel SiO2 coating%vacuum system of high power laser%grease contamination%laser induced damage threshold

采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiOz膜表面的油脂污染物进行清洗.利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表征,并分析清洗前后溶胶-凝胶SiO2膜的激光损伤阚值变化.损伤阈值测试表明,1064 nm波长的激光损伤阈值由污染后的16.08J/cm2上升到24.41J/cm2,与污染前24.72 J/cm2的损伤阈值相当.同时还获取清洗的最佳时间为10s.清洗前后,溶胶-凝胶SiO2膜保持完好,且未产生新的有机污染物.研究结果表明:大气常压等离子射流技术可对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行有效地清洗,从而提高溶胶-凝胶SiO2膜的透过率和激光损伤阈值,为高功率激光装置的稳定运行提供保障.
채용대기상압등리자사류기술대용효-응효SiOz막표면적유지오염물진행청세.이용분광광도계、소묘전자현미경、홍외광보의대용효-응효SiO2막투과솔、표면형모、화학결구진행표정,병분석청세전후용효-응효SiO2막적격광손상감치변화.손상역치측시표명,1064 nm파장적격광손상역치유오염후적16.08J/cm2상승도24.41J/cm2,여오염전24.72 J/cm2적손상역치상당.동시환획취청세적최가시간위10s.청세전후,용효-응효SiO2막보지완호,차미산생신적유궤오염물.연구결과표명:대기상압등리자사류기술가대용효-응효SiO2막표면적유지오염물진행유효지청세,종이제고용효-응효SiO2막적투과솔화격광손상역치,위고공솔격광장치적은정운행제공보장.