CAJ | 학술논문

针对国产射频匹配器只有模拟电路控制式产品并与国外数字化产品有很大性能差距的现状，研制了一种数字化射频电源网络自动匹配器。其原理是通过调节祝型网络的电容值来实现电源与负载的动态匹配，由反射系数检测器、数字信号处理器、电容位置传感器和电机驱动电路等组成一个闭环系统，控制电机来调节电容以实现上述原理。测试表明其可匹配阻抗范围增大、端对端匹配时间小于12s，综合性能显著优于模拟电路控制式匹配器。
침대국산사빈필배기지유모의전로공제식산품병여국외수자화산품유흔대성능차거적현상，연제료일충수자화사빈전원망락자동필배기。기원리시통과조절축형망락적전용치래실현전원여부재적동태필배，유반사계수검측기、수자신호처리기、전용위치전감기화전궤구동전로등조성일개폐배계통，공제전궤래조절전용이실현상술원리。측시표명기가필배조항범위증대、단대단필배시간소우12s，종합성능현저우우모의전로공제식필배기。