无线互联科技
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무선호련과기
wuxian hulian keji
2015年
18期
55-56
,共2页
调制脉冲%磁控溅射%HPPMS%MPP
調製脈遲%磁控濺射%HPPMS%MPP
조제맥충%자공천사%HPPMS%MPP
文章指出叠加直流的HPPMS技术有直流部分占空比较高和不可控制2大缺点,在做沉积薄膜实验时无法提供溅射所需的高功率,导致空比较低,溅射效率稍低的高功率脉冲产生.为了解决问题,需要研制一台电源,并且该电源可以用中频调制脉冲高功率磁控溅射MPP(Modulated pulsed power),普通高功率磁控溅射系统中的直流部分可以用低频脉冲来代替,尽可能减少低频脉冲占空比并且可以确保充分预处理,使高功率脉冲占空比尽可能最大,提高系统的溅射效率.
文章指齣疊加直流的HPPMS技術有直流部分佔空比較高和不可控製2大缺點,在做沉積薄膜實驗時無法提供濺射所需的高功率,導緻空比較低,濺射效率稍低的高功率脈遲產生.為瞭解決問題,需要研製一檯電源,併且該電源可以用中頻調製脈遲高功率磁控濺射MPP(Modulated pulsed power),普通高功率磁控濺射繫統中的直流部分可以用低頻脈遲來代替,儘可能減少低頻脈遲佔空比併且可以確保充分預處理,使高功率脈遲佔空比儘可能最大,提高繫統的濺射效率.
문장지출첩가직류적HPPMS기술유직류부분점공비교고화불가공제2대결점,재주침적박막실험시무법제공천사소수적고공솔,도치공비교저,천사효솔초저적고공솔맥충산생.위료해결문제,수요연제일태전원,병차해전원가이용중빈조제맥충고공솔자공천사MPP(Modulated pulsed power),보통고공솔자공천사계통중적직류부분가이용저빈맥충래대체,진가능감소저빈맥충점공비병차가이학보충분예처리,사고공솔맥충점공비진가능최대,제고계통적천사효솔.
