电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
11期
32-35
,共4页
史霄%郭春华%杨师%熊明
史霄%郭春華%楊師%熊明
사소%곽춘화%양사%웅명
兆声波清洗%兆声频率%化学机械平坦化%后清洗
兆聲波清洗%兆聲頻率%化學機械平坦化%後清洗
조성파청세%조성빈솔%화학궤계평탄화%후청세
从空化作用和声波流作用两方面对兆声清洗的物理原理进行深入分析,研究了兆声频率及功率对空化强度、边界层厚度、声波流速等关键因素的影响,从而阐明兆声波清洗的特点及其适用场合.同时以AMAT公司的设备为例,介绍了兆声波清洗在CMP后清洗中的实际应用案例.
從空化作用和聲波流作用兩方麵對兆聲清洗的物理原理進行深入分析,研究瞭兆聲頻率及功率對空化彊度、邊界層厚度、聲波流速等關鍵因素的影響,從而闡明兆聲波清洗的特點及其適用場閤.同時以AMAT公司的設備為例,介紹瞭兆聲波清洗在CMP後清洗中的實際應用案例.
종공화작용화성파류작용량방면대조성청세적물리원리진행심입분석,연구료조성빈솔급공솔대공화강도、변계층후도、성파류속등관건인소적영향,종이천명조성파청세적특점급기괄용장합.동시이AMAT공사적설비위례,개소료조성파청세재CMP후청세중적실제응용안례.
