电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
11期
43-46
,共4页
韩志国%李锁印%赵革艳%赵新宇
韓誌國%李鎖印%趙革豔%趙新宇
한지국%리쇄인%조혁염%조신우
接触式台阶测量仪%软故障%探针%测力
接觸式檯階測量儀%軟故障%探針%測力
접촉식태계측량의%연고장%탐침%측력
介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴.
介紹瞭接觸式檯階測量儀的基本測量原理,針對該儀器使用過程中常見的探針掃描位置問題、探針針尖霑汙問題和測力問題等軟故障的現象進行瞭描述,對故障產生的原因進行瞭分析,最後給齣瞭三種故障的調脩方法,該方法在我單位檯階測量儀上進行瞭應用,效果良好,希望能為該類儀器的操作人員和儀器維脩人員提供藉鑒.
개소료접촉식태계측량의적기본측량원리,침대해의기사용과정중상견적탐침소묘위치문제、탐침침첨첨오문제화측력문제등연고장적현상진행료묘술,대고장산생적원인진행료분석,최후급출료삼충고장적조수방법,해방법재아단위태계측량의상진행료응용,효과량호,희망능위해류의기적조작인원화의기유수인원제공차감.
