电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
11期
28-31
,共4页
姜家宏%王广峰%李伟%王铮
薑傢宏%王廣峰%李偉%王錚
강가굉%왕엄봉%리위%왕쟁
化学机械抛光设备%承载台%固有频率
化學機械拋光設備%承載檯%固有頻率
화학궤계포광설비%승재태%고유빈솔
介绍了化学机械抛光设备中承载台机构的功能、结构组成,筛选合适的承载台材料,并通过运用MSC PARTRAN有限元软件对该机构进行模态分析,研究它的固有频率及振动特性,综合对比后,选择合适的方案,满足工艺过程的需求.
介紹瞭化學機械拋光設備中承載檯機構的功能、結構組成,篩選閤適的承載檯材料,併通過運用MSC PARTRAN有限元軟件對該機構進行模態分析,研究它的固有頻率及振動特性,綜閤對比後,選擇閤適的方案,滿足工藝過程的需求.
개소료화학궤계포광설비중승재태궤구적공능、결구조성,사선합괄적승재태재료,병통과운용MSC PARTRAN유한원연건대해궤구진행모태분석,연구타적고유빈솔급진동특성,종합대비후,선택합괄적방안,만족공예과정적수구.
