应用光学
應用光學
응용광학
Journal of Applied Optics
2015年
6期
847-851
,共5页
杨练根%余再新%何浪%王选择
楊練根%餘再新%何浪%王選擇
양련근%여재신%하랑%왕선택
相移干涉%表面形貌测量%四波长%相差%椭圆拟合
相移榦涉%錶麵形貌測量%四波長%相差%橢圓擬閤
상이간섭%표면형모측량%사파장%상차%타원의합
phase-shifting interferometry%surface topography measurement%four-wavelength%phase difference%elliptic fitting
针对相移干涉法测量表面三维形貌时深度测量范围受波长限制这一问题,提出一种四波长表面形貌干涉测量系统.通过滤波片的轮换,将白光LED光源的先切换出4个不同波长的光源,并依次进行单波长干涉.为解决多波长干涉图像数据处理,采用基于椭圆拟合的算法,在逐帧逐点的相位计算条件下,运用大小尺度相结合的算法实现高精度宽范围的表面形貌测量.实验结果表明:在深度测量范围扩大到约41倍的条件下,测量经中国计量科学研究院采用粗糙度国家基准校准的方波多刻线样板,得到的表面粗糙度数据与校准数据相比,相对误差为4.09%.说明在一定的深度范围内,该系统能够实现表面形貌的高精度测量.
針對相移榦涉法測量錶麵三維形貌時深度測量範圍受波長限製這一問題,提齣一種四波長錶麵形貌榦涉測量繫統.通過濾波片的輪換,將白光LED光源的先切換齣4箇不同波長的光源,併依次進行單波長榦涉.為解決多波長榦涉圖像數據處理,採用基于橢圓擬閤的算法,在逐幀逐點的相位計算條件下,運用大小呎度相結閤的算法實現高精度寬範圍的錶麵形貌測量.實驗結果錶明:在深度測量範圍擴大到約41倍的條件下,測量經中國計量科學研究院採用粗糙度國傢基準校準的方波多刻線樣闆,得到的錶麵粗糙度數據與校準數據相比,相對誤差為4.09%.說明在一定的深度範圍內,該繫統能夠實現錶麵形貌的高精度測量.
침대상이간섭법측량표면삼유형모시심도측량범위수파장한제저일문제,제출일충사파장표면형모간섭측량계통.통과려파편적륜환,장백광LED광원적선절환출4개불동파장적광원,병의차진행단파장간섭.위해결다파장간섭도상수거처리,채용기우타원의합적산법,재축정축점적상위계산조건하,운용대소척도상결합적산법실현고정도관범위적표면형모측량.실험결과표명:재심도측량범위확대도약41배적조건하,측량경중국계량과학연구원채용조조도국가기준교준적방파다각선양판,득도적표면조조도수거여교준수거상비,상대오차위4.09%.설명재일정적심도범위내,해계통능구실현표면형모적고정도측량.