CAJ | 학술논문

采用反应磁控溅射法在ITO玻璃上制备氮掺杂氧化钨(WO3:N)薄膜.采用XRD、XPS、AFM对薄膜的结构、成分、结合键和表面形貌进行表征.将WO3:N薄膜封装制成电致变色器件,并采用直流稳压电源和分光光度计对其进行变色调制性能测试.结果表明:制备的WO3:N薄膜为纳米晶结构,其衍射峰位随着含N量的增加而右移;WO3:N薄膜中W、O分别以W6+和O2-存在,而N以中性价态、WO3中的O位替换以及表面吸附3种状态存在;随着WO3:N薄膜中含N量的升高,表面粗糙度逐渐增大,且有利于器件着色;当掺氮2.80％(摩尔分数)时,电致变色器件调制幅度最大为68.8％,比未掺氮器件的高出7.7％,适用于节能玻璃.
채용반응자공천사법재ITO파리상제비담참잡양화오(WO3:N)박막.채용XRD、XPS、AFM대박막적결구、성분、결합건화표면형모진행표정.장WO3:N박막봉장제성전치변색기건,병채용직류은압전원화분광광도계대기진행변색조제성능측시.결과표명:제비적WO3:N박막위납미정결구,기연사봉위수착함N량적증가이우이;WO3:N박막중W、O분별이W6+화O2-존재,이N이중성개태、WO3중적O위체환이급표면흡부3충상태존재;수착WO3:N박막중함N량적승고,표면조조도축점증대,차유리우기건착색;당참담2.80％(마이분수)시,전치변색기건조제폭도최대위68.8％,비미참담기건적고출7.7％,괄용우절능파리.